[發明專利]基板支撐裝置及支撐方法、真空干燥設備在審

申請號：	201510015104.4	申請日：	2015-01-12
公開（公告）號：	CN104617017A	公開（公告）日：	2015-05-13
發明（設計）人：	王曼;翟玉漫	申請（專利權）人：	合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;H01L21/687
代理公司：	北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112	代理人：	彭瑞欣;陳源
地址：	230012 安徽***	國省代碼：	安徽;34
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摘要：
搜索關鍵詞：	支撐裝置方法真空干燥設備
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及顯示面板制造技術領域，尤其涉及一種基板支撐裝置及支撐方法，以及包括該基板支撐裝置的真空干燥設備。

背景技術

在陣列基板和彩膜基板的制作過程中，大部分膜層均涉及到光刻膠的涂布、曝光和顯影工藝。光刻膠涂布完成后需要進行真空干燥處理，即在室溫下，大氣壓接近0Pa的條件下，進行溶劑的揮發，使得膜層的均一度和硬度維持在一定水平上，為后續的曝光、顯影工藝做準備。

現有真空干燥設備的腔室內部結構如圖1所示，腔室1的底部布置有一定數量的可移動的支撐Pin?2，支撐Pin?2通過磁鐵吸附進行固定。其操作流程如圖2a-圖2f所示：

首先，機械手3搬運基板4伸入腔室1內部，如圖2a所示，基板4的表面涂布有膜層；然后，機械手3下降，使基板4落在支撐Pin?2上，如圖2b所示；之后，機械手3撤出，在腔室1的內部進行真空干燥處理，如圖2c所示；干燥結束后，機械手3從支撐Pin?2的空隙伸入并上升，將基板4頂起，如圖2d和圖2e所示；最后，機械手3撤出，將基板4取出，如圖2f所示。

在上述支撐方式中，支撐Pin?2必須支撐在基板4的非顯示區域，如圖3和圖4所示。這是由于基板4上與支撐Pin?2接觸的位置會被頂起，形成一個小突起，如圖5中所示，涂布在基板4表面的膜層5會發生流動，從而使突起位置的膜厚較周圍區域變薄，在干燥過程中，由于膜厚分布不均勻，會形成云紋(Mura)顯示不良。真空干燥結束后，由于膜層5中大部分溶劑已經揮發，流動性大大降低，膜厚均勻性無法恢復，顯示云紋(Mura)依然存在，將影響顯示效果。

在實際生產中，不同的基板布局不同，因此支撐Pin的布局也相應地不同。不同型號的產品在進行生產切換時，必須安排人員對支撐Pin的位置進行移動，以避開基板的顯示區域，這一動作很容易引入粉塵和顆粒物，也存在由于人為失誤使得支撐Pin的位置移動錯誤而造成產品顯示不良的風險。此外，支撐Pin的布局取決于基板的布局，設計上必須充分考慮支撐Pin的接觸點，既要保證接觸點的分布相對均勻，又要保證與機械手之間不發生干涉，設計較為復雜，進一步限制了基板的利用率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基板支撐裝置及支撐方法、真空干燥設備，以解決現有支撐裝置設計和操作復雜、不良風險高的問題。

為解決上述技術問題，作為本發明的第一個方面，提供一種基板支撐裝置，所述基板支撐裝置用于真空干燥設備中，所述基板支撐裝置包括固定機構和升降機構，所述固定機構包括臺面，所述臺面上設置有多個通孔，所述升降機構包括多個與所述通孔相對應的平板部，多個所述平板部能夠分別位于相應位置的所述通孔中，并與所述臺面共同形成一個用于支撐基板的支撐面，并且，所述平板部能夠移動穿過相對應的所述通孔。

優選地，所述臺面包括多個子臺面，相鄰兩個所述子臺面之間形成有條形間隔，所述條形間隔形成為所述通孔。

優選地，所述通孔的端面為封閉圖形。

優選地，所述封閉圖形包含矩形或圓形。

優選地，多個所述通孔均勻排列在所述臺面中，所述平板部的形狀與相應位置的所述通孔的形狀匹配。

優選地，所述平板部的形狀包含矩形或圓形。

優選地，所述升降機構包括升降驅動單元、多個支撐桿、以及多個支撐柱，每個所述支撐桿上均設置有所述支撐柱，所述支撐柱用于支撐所述平板部，所述升降驅動單元用于驅動所述支撐桿升降。

優選地，所述升降機構還包括用于將多個所述支撐桿相連的連接桿，所述連接桿與所述升降驅動單元的輸出軸相連。

優選地，每個所述支撐柱用于支撐一個所述平板部。

優選地，多個所述支撐柱共同支撐一個所述平板部。

作為本發明的第二個方面，還提供一種利用上述基板支撐裝置的支撐方法，所述支撐方法包括：

在對基板進行干燥時，將所述平板部設置在所述通孔中，以與所述臺面一起支撐所述基板。

優選地，所述支撐方法包括：