[發明專利]一種以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛樹脂為基體的高感光性光刻膠組合物

在審

• 申請號: 201510014391.7
• 申請日: 2015-01-08
• 公開（公告）號: CN104656375A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發明（設計）人: 季昌彬
• 申請（專利權）人: 蘇州瑞紅電子化學品有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/028;G03F7/00;C08G8/28;C08G8/10
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛樹脂為基體的高感光性光刻膠的組合物，其特征在于所含組分的各組分的質量分數為：

。

2.一種以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛樹脂的光刻膠的組合物，其特征在于其耐熱性大于130℃。

3.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于所述的以三聚氰胺和腰果酚改性的酚醛樹脂由甲醛、苯酚、三聚氰胺、腰果酚和催化劑聚合而成，具體步驟如下：

(1)往裝有回流冷凝攪拌溫度計裝置的三口燒瓶中按比份為1∶1.215∶0.151加入37-40％甲醛水溶液、苯酚和催化劑，攪拌均勻。

(2)攪拌均勻后加熱到110℃，再加入比份為0.508、0.741的三聚氰胺和腰果酚攪拌均勻。

(3)待回流反應1.5h后，補加比份為0.117的催化劑，回流反應12h后降溫冷卻，過濾干燥后得到改性的酚醛樹脂。

4.根據權利要求1所述的改性酚醛樹脂，其特征在于其結構式中C原子數要小于200。

5.根據權利要求1所述的改性酚醛樹脂，其特征在于其軟化點大于160℃。

6.根據權利要求1所述的改性酚醛樹脂，其特征在于其重均分子量大于7000。

7.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于光活性化合物包括雙季戊死醇五丙烯酸酯、雙季戊四醇六丙烯酸酯、異戊四醇四丙烯酸酯、乙氧基化異戊四醇四丙烯酸酯中的一種或幾種。

8.根據權利要求1所述的光刻膠組合物，其特征在于溶劑包括丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基-3-亞胺丙酸乙酯、2-庚烷、3-庚烷、環戊酮、環己酮中的一種或幾種。

9.一種權利要求所述的光刻膠組合物的顯影方法，其特征在于包含下述步驟：

(1)將所述光刻膠組合物涂布在晶圓上1.7um的膜厚，在100℃下前烘60s；

(2)在50-250mj/cm²的曝光能量下曝光；

(3)在曝完光的樣品置于堿液中顯影，經去離子水漂洗得到圖案。

10.根據權利要求9所述的顯影方法，其特征在于所述的步驟(2)的曝光能量小于120mj/cm²。