[發明專利]一種浮法在線常壓化學氣相沉積鍍膜反應器

有效

• 申請號: 201510014233.1
• 申請日: 2015-01-09
• 公開（公告）號: CN104561938B
• 公開（公告）日: 2017-04-19
• 發明（設計）人: 韓高榮;劉新;劉涌;宋晨路;汪建勛;沈鴿
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 杭州天勤知識產權代理有限公司33224
• 代理人: 胡紅娟

1.一種浮法在線常壓化學氣相沉積鍍膜反應器，包括保溫外殼和底板，所述的保溫外殼內設有進氣室和排氣室，底板為鋼板，底板上設有與進氣室連通的狹縫以及與排氣室連通的排氣口，其特征在于，所述的保溫外殼中還設有預混室和廢氣室，預混室連接鍍膜前驅氣體進氣管，且預混室嵌裝在廢氣室中，排氣室接入所述的廢氣室，進氣室經進氣通道與所述的預混室連通；

所述的進氣室布置在底板上方，所述進氣室的兩側設有束流擋板，用于在進氣室內形成沿氣流方向逐漸擴寬的廣口狀腔體，廣口狀腔體的一端銜接所述的進氣通道，另一端連通所述的狹縫；進氣室內交替安裝有齒狀結構的混流擋板，用于形成上下起伏的氣流；所述的排氣室為上粗下細結構，排氣室內安裝有開口朝上的V型板作為集塵板，呈層疊分布，且相鄰兩層錯位布置。

2.如權利要求1所述的浮法在線常壓化學氣相沉積鍍膜反應器，其特征在于，所述的排氣口和進氣通道位于狹縫的遠端，且排氣室和進氣通道通過隔板隔開。

3.如權利要求2所述的浮法在線常壓化學氣相沉積鍍膜反應器，其特征在于，所述的狹縫和排氣口處均設有用于限制氣流走向且帶倒角的長條狀石墨擋塊。

4.如權利要求1所述的浮法在線常壓化學氣相沉積鍍膜反應器，其特征在于，每個進氣室和排氣室屬于同一鍍膜工作組，在該鍍膜工作組中，進氣室沿沉積基底或玻璃帶前進方向的長度為100mm-1000mm，排氣室沿沉積基底或玻璃帶前進方向的長度為10mm-100mm，且相鄰兩個鍍膜工作組中狹縫之間的距離為140mm-1400mm。

5.如權利要求4所述的浮法在線常壓化學氣相沉積鍍膜反應器，其特征在于，該鍍膜反應器的工作溫度區間在350℃-650℃之間，鍍膜反應器下表面距離沉積基板或玻璃帶上表面2mm-25mm之間。