[發(fā)明專利]一種二維超聲振動平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510011865.2
• 申請日: 2015-01-09
• 公開（公告）號: CN104624463B
• 公開（公告）日: 2017-01-25
• 發(fā)明（設計）人: 袁言杰;景秀并;方浩文;張大衛(wèi);王福軍
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: B06B1/06
• 分類號: B06B1/06;B06B3/02;B28D7/00;B07B1/40
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所12201
• 代理人: 張金亭

1.一種二維超聲振動平臺，其特征在于，包括從下至上依次設置的承載板、下振動板和上振動板；

所述下振動板通過X向直線運動導軌與所述承載板連接；在X方向上，所述下振動板的一側中部連接有X向振動子，所述下振動板的另一側中部設有X向弓形彈簧片，所述X向弓形彈簧片的兩端固定在X向微調(diào)裝置的輸出端，所述X向弓形彈簧片的中心線與所述X向微調(diào)裝置的中心線重合，所述X向弓形彈簧片的最高點與所述下振動板的側面接觸；所述X向振動子由同軸固接的X向超聲換能器和X向超聲變幅桿組成，所述X向超聲變幅桿與所述下振動板連接，所述X向超聲變幅桿固定在所述承載板上；

所述上振動板通過Y向直線運動導軌與所述下振動板連接；在Y方向上，所述上振動板的一側中部連接有Y向振動子，所述上振動板的另一側中部設有Y向弓形彈簧片，所述Y向弓形彈簧片的兩端固定在Y向微調(diào)裝置的輸出端，所述Y向弓形彈簧片的中心線與所述Y向微調(diào)裝置的中心線重合，所述Y向弓形彈簧片的最高點與所述上振動板的側面接觸；所述Y向振動子由同軸固接的Y向超聲換能器和Y向超聲變幅桿組成，所述Y向超聲變幅桿與所述上振動板連接，所述Y向超聲變幅桿固定在所述下振動板上。

2.根據(jù)權利要求1所述的二維超聲振動平臺，其特征在于，所述X向超聲換能器和所述Y向超聲換能器均為夾心式壓電陶瓷換能器。

3.根據(jù)權利要求1所述的二維超聲振動平臺，其特征在于，所述X向超聲變幅桿和所述Y向超聲變幅桿結構相同，均采用帶過渡圓弧的階梯形，并在節(jié)點處設有連接法蘭盤。

4.根據(jù)權利要求2所述的二維超聲振動平臺，其特征在于，所述夾心式壓電陶瓷換能器設有超聲電源，所述夾心式壓電陶瓷換能器包括從后至前依次設置的后蓋板、多個并聯(lián)的壓電陶瓷片和前蓋板，每片壓電陶瓷設有正負兩個銅電極，所述銅電極通過導線與所述超聲電源連接，所述前蓋板采用輕金屬制成并采用階梯形結構，所述后蓋板采用重金屬制成。

5.根據(jù)權利要求1所述的二維超聲振動平臺，其特征在于，所述X向直線運動導軌和所述Y向直線運動導軌均采用滾動摩擦導軌。