[其他]在切分張力下保持褶皺特性的結(jié)構(gòu)化鋸線

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201490000256.6
• 申請(qǐng)日: 2014-08-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204912935U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林承鎬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 弘德產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B23D61/18
• 分類(lèi)號(hào): B23D61/18;B24B27/06;B28D1/08;B24D11/00
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 李文穎;周艷玲

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例涉及在切分張力下保持褶皺特性的結(jié)構(gòu)化鋸線，并且更具體地，涉及在切分張力下保持褶皺特性的結(jié)構(gòu)化鋸線，該結(jié)構(gòu)化鋸線即使在切分張力被施加到所述結(jié)構(gòu)化鋸線用于對(duì)待切割的材料進(jìn)行切割時(shí)也呈現(xiàn)小的褶皺變形，保持褶皺特性，提高切割性能，防止結(jié)構(gòu)化鋸線兩端處的品質(zhì)下降，并且降低缺陷率并由此提高諸如晶片之類(lèi)的最終產(chǎn)品的生產(chǎn)率。

背景技術(shù)

通常，在鋸機(jī)中使用的鋸線隨著鋸線移動(dòng)并連同切割材料以合適的壓力接觸待切割的材料來(lái)對(duì)待切割的材料進(jìn)行切割，在切割材料中，諸如碳化硅粉末、金剛石粉末等的研磨顆粒與油等混合。

使用鋸線切割諸如硅塊之類(lèi)的硬質(zhì)材料的方法如下：鋸線沿著多個(gè)輥中的多個(gè)槽卷繞，并且成排的鋸線被驅(qū)動(dòng)以將特定的力施加到硅塊或待切割的材料。在該階段，在成排的鋸線和待切割的材料之間供應(yīng)研磨顆粒以由于研磨顆粒的切割效應(yīng)而將硅塊切割成晶片。切割過(guò)程的效率和晶片的厚度品質(zhì)取決于若干因素，諸如經(jīng)受切割的硬質(zhì)材料塊的特性和鋸線的速度。這些因素中最重要的因素是切割材料的量，切割材料可被包括在鋸線中。

用于切割硅塊的每排鋸線被常規(guī)地卷繞在輥上1000至3000次。該線沿著輥上制備的槽移動(dòng)以切割硬質(zhì)材料，并且當(dāng)硬質(zhì)材料被切割時(shí)，切割材料不僅研磨硬質(zhì)材料并且研磨鋸線，而且減小鋸線的厚度，這是成問(wèn)題的。在切割開(kāi)始時(shí)，大量切割材料可能伴隨有存在于鋸線表面上的軟質(zhì)材料鍍層；然而，隨著鍍層在硬質(zhì)材料被切割時(shí)被移除，基層被露出并且包括切割材料的能力減弱。

因此，有必要提高在鋸線使用時(shí)包括切割材料的能力。在國(guó)際專(zhuān)利申請(qǐng)WO90/12670中，提供一種鋸線，該鋸線良好地伴隨切割材料。該特點(diǎn)通過(guò)改變鋸線的外表面被實(shí)現(xiàn)。根據(jù)該專(zhuān)利申請(qǐng)的實(shí)施例，許多微腔位于鋸線的表面上。而且，根據(jù)該專(zhuān)利申請(qǐng)的另一實(shí)施例，鋸線沿圓周方向具有多個(gè)槽。這些方案可提高包括切割材料的能力；然而，改變鋸線的外表面通常是昂貴的和耗時(shí)的。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例通過(guò)提供一種在切分張力下保持褶皺特性的結(jié)構(gòu)化鋸線而解決上述問(wèn)題，該結(jié)構(gòu)化鋸線即使在切分張力被施加到結(jié)構(gòu)化鋸線用于對(duì)待切割的材料進(jìn)行切割時(shí)也呈現(xiàn)小的褶皺變形，保持褶皺特性、提高包括切割材料的能力并提高使用切割材料進(jìn)行切割的能力，防止鋸線兩端處的品質(zhì)下降，減少缺陷率并由此提高諸如晶片之類(lèi)的最終產(chǎn)品的生產(chǎn)率。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例，在切分張力下保持褶皺特性的所述結(jié)構(gòu)化鋸線包括鋸線，在所述鋸線上形成有連續(xù)的褶皺，其特征在于，連續(xù)形成鋸齒形形狀的單元褶皺包括第一部分和從所述第一部分彎曲并延伸的第二部分，并且所述第二部分從所述第一部分彎曲為使得，當(dāng)與由所述第一部分和所述第二部分形成的邊緣鄰接的虛構(gòu)圓被考慮時(shí)，所述虛構(gòu)圓的半徑或曲率半徑被形成為所述線的直徑的5至20倍。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例，可取的是，齒狀單元褶皺被形成為當(dāng)該單元褶皺沿所述鋸線的縱向方向移動(dòng)時(shí)沿一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)。

另外的方面將部分在以下說(shuō)明書(shū)中陳述，部分將由說(shuō)明書(shū)變明顯，或者可通過(guò)實(shí)踐所提出的實(shí)施例而被得知。

根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)上述實(shí)施例，在切分張力下保持褶皺特性的結(jié)構(gòu)化鋸線即使在切分張力被施加到結(jié)構(gòu)化鋸線用于對(duì)待切割的材料進(jìn)行切割時(shí)也可呈現(xiàn)小的褶皺變形并保持褶皺特性。因此，可增加由于褶皺造成的切割材料的量，并且可提高對(duì)待切割的材料進(jìn)行切割的能力。

附圖說(shuō)明

由于結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例進(jìn)行的以下描述，這些和/或其它方面將變得明顯且更易于理解。在附圖中：

圖1是根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施例的在切分張力下保持褶皺特性的結(jié)構(gòu)化鋸線的側(cè)視圖。

圖2是從圖1中選擇的主要部分的放大視圖。

圖3是切分張力被施加到結(jié)構(gòu)化鋸線兩端的狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)化鋸線的側(cè)視圖。

圖4是例示根據(jù)本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的在切分張力下保持褶皺特性的結(jié)構(gòu)化鋸線的斜視圖的概念圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在將詳細(xì)參照實(shí)施例，其示例在附圖中例示，其中相同的附圖標(biāo)記始終指代相同的元件。在這點(diǎn)上，本實(shí)施例可具有不同的形式，并且不應(yīng)當(dāng)被解釋為局限于在此陳述的說(shuō)明書(shū)。因此，在下面僅通過(guò)參照附圖描述實(shí)施例，以解釋本說(shuō)明書(shū)的方面。

本實(shí)用新型包括在線鋸機(jī)中使用并用于切割半導(dǎo)體、陶瓷、超硬合金等且將半導(dǎo)體、陶瓷、超硬合金等切成片的鋸線。