[發明專利]對基板作業機

有效

• 申請號: 201480084000.2
• 申請日: 2014-12-18
• 公開（公告）號: CN107006145B
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 黑田英矢;竹田昌弘
• 申請（專利權）人: 株式會社富士
• 主分類號: H05K13/04
• 分類號: H05K13/04
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆德駿;謝麗娜

在進行以設于基板的基準標記為基準的對基板作業的對基板作業機中，在對設有整體基準標記(FM1)和成為局部區域(A)的基準的局部區域基準標記(FM2)作為基準標記的基板進行對基板作業的情況下，在通過拍攝而識別這些基準標記時，進行應識別的基準標記是否被識別出的確認。在通過作為基準標記而確定的拍攝對象距正規位置的位置偏差量(ΔX、ΔY)、相對位置偏差量(ΔL)是否處于設定公差的范圍內來進行該確認時，使局部區域基準標記的設定公差(TΔX2、TΔY2、TΔL2)設定得小于整體基準標記的設定公差(TΔX1、TΔY1、TΔL1)。通過將設定公差那樣設定，能夠可靠地進行確認處理。

技術領域

本發明涉及向基板裝配電子元件的元件裝配機等對基板進行作業的對基板作業機。

背景技術

在元件裝配機等對基板作業機中，通過基板固定裝置將基板固定，對于該固定的基板，進行電子元件的裝配、粘結劑的涂布、檢查等對基板作業。上述的對基板作業基于通過基板固定裝置固定的基板的位置(以下，有時稱為“固定位置”)進行，在大多數的對基板作業機中，通過拍攝裝置拍攝設于基板的基準標記，基于其拍攝結果來取得該固定位置。即，對基板作業以識別出的基準標記為基準進行。另一方面，如下述專利申請記載那樣，在一部分的基板中，出于需要提高對基板作業的精度等理由，除了成為基板整體的位置基準的整體基準標記之外，還設有成為局部的基板的區域(以下，有時稱為“局部區域”)的基準的局部區域基準標記，該局部區域的對基板作業以該局部區域基準標記為基準進行。

專利文獻

專利文獻1：日本特開2003-101300號公報

發明內容

發明要解決的課題

在基板中，印制配線的焊盤等各種物體設于表面或者被顯示，在通過拍攝來識別基準標記的情況下，進行拍攝對象為基準標記這一情況的確認即用于確認應識別的基準標記被識別出這一情況的處理。該確認處理希望可靠地進行，特別是在整體基準標記與局部區域基準標記并列設置那樣的基板中，由于基準標記的個數多而且對基板作業要求高精度等原因，滿足上述愿望的情況與提高對基板作業機的實用性的情況息息相關。本發明鑒于這樣的實際情況而作出，課題在于提供一種實用性高的對基板作業機。

用于解決課題的方案

為了解決上述課題，本發明的對基板作業機具備：基板固定裝置，固定基板；對基板作業裝置，對固定于該基板固定裝置的基板進行作業；拍攝裝置，拍攝固定于該基板固定裝置的基板的表面；及控制裝置，在由該拍攝裝置拍攝到的拍攝對象的位置偏差量處于設定公差的范圍內時，識別為該拍攝對象是基準標記，并且為了執行以該識別出的基準標記為基準的作業而控制所述對基板作業裝置，所述對基板作業機的特征在于，在固定于所述基板固定裝置的基板是設有表示基板整體的基準的整體基準標記和表示局部區域的基準的局部區域基準標記作為所述基準標記的基板的情況下，用于識別所述局部區域基準標記的所述設定公差被設定得小于用于識別所述整體基準標記的所述設定公差。

順便提及，本發明的上述“拍攝對象”是指拍攝到的圖像中的被確定為基準標記的物體，如果拍攝對象是基準標記，則“拍攝對象的位置偏差量”是指拍攝對象的位置距該基準標記應存在的位置(也可以稱為“正規位置”、“理論位置”等)的偏差。需要說明的是，“對于固定的基板進行的作業”即“對基板作業”包括元件的裝配作業、在該裝配作業之前進行的粘結劑涂布作業、檢查裝配作業的結果的檢查作業等各種作業，同樣，“對基板作業裝置”包括元件裝配裝置、粘結劑涂布裝置、檢查裝置等各種裝置，而且，“對基板作業機”包括元件裝配機、粘結劑涂布機、檢查機等各種結構。此外，“局部區域”相當于例如在1個基板由電路圖案相同的多個子基板構成時的這多個子基板中的一個。而且，例如關于在元件裝配作業中特別要求精度的元件的裝配，在該元件的附近設置基準標記，存在以該基準標記為基準進行該元件的裝配的情況，這種情況下的裝配該元件的區域及其附近的區域也相當于局部區域。