[發明專利]光開關

有效

• 申請號: 201480083701.4
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN107003483B
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 趙星;蔣臣迪
• 申請（專利權）人: 華為技術有限公司
• 主分類號: G02B6/35
• 分類號: G02B6/35;G02B26/08;H01Q11/00;H04J14/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽

1.一種光開關，其特征在于，包括：輸入準直器陣列、輸入微機電系統MEMS芯片、輸出MEMS芯片及輸出準直器陣列；所述輸入準直器陣列的透鏡陣列的表面與所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的表面之間存在夾角β；所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的表面與所述輸出準直器陣列的透鏡陣列的表面之間存在夾角β；所述輸入準直器陣列的透鏡陣列的表面與所述輸出準直器陣列的透鏡陣列的表面平行相對；所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的表面與所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的表面平行相對；

其中，所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的微鏡，在平行于第一方向的方向和垂直于所述第一方向的方向上均以間距L等距排列；所述第一方向為所述輸出準直器陣列的透鏡陣列的表面與所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的表面所在平面的交線方向；

所述輸出準直器陣列的透鏡陣列的透鏡，在所述平行于第一方向的方向上以間距L等距排列，在所述垂直于所述第一方向的方向上以間距LCosβ等距排列；

所述輸入MEMS芯片用于將從所述輸入準直器陣列接收到的光信號反射至所述輸出MEMS芯片，所述輸出MEMS芯片用于將從所述輸入MEMS芯片接收到的所述光信號反射至所述輸出準直器陣列。

2.根據權利要求1所述的光開關，其特征在于，

所述輸入準直器陣列的透鏡陣列的透鏡，在平行于第二方向的方向上以間距L等距排列，在垂直于所述第二方向的方向上以間距LCosβ等距排列；所述第二方向為所述輸入準直器陣列的透鏡陣列的表面與所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的表面所在平面的交線方向；

所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的微鏡，在所述平行于所述第二方向和所述垂直于所述第二方向的方向上均以間距L等距排列。

3.根據權利要求1或2所述的光開關，其特征在于，還包括：凸透鏡；

所述凸透鏡平行放置在所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列和所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列之間；

所述凸透鏡，用于對所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的微鏡所反射的光信號進行兩次折射后入射至所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的微鏡。

4.根據權利要求3所述的光開關，其特征在于，所述凸透鏡為傅里葉透鏡。

5.一種光開關，其特征在于，包括：輸入準直器陣列、輸入MEMS芯片、輸出MEMS芯片、輸出準直器陣列及反射鏡；所述輸入準直器陣列的透鏡陣列的表面與所述輸出準直器陣列的透鏡陣列的表面位于同一平面；所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的表面與所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的表面位于同一平面；或者，所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的表面與所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的表面平行不相對；所述反射鏡，位于所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列及所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的斜上方；所述反射鏡，用于對所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的微鏡所反射的信號進行反射以入射至所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的微鏡；所述輸入準直器陣列的透鏡陣列的表面與所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的表面之間存在夾角β，和所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的表面與所述輸出準直器陣列的透鏡陣列的表面之間存在夾角β；

所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的微鏡，在平行于第三方向的方向和垂直于所述第三方向上均以間距L等距排列；所述第三方向為所述輸出MEMS芯片的微鏡陣列的表面與所述輸出準直器陣列的透鏡陣列的表面所在平面的交線方向；

所述輸出準直器陣列的透鏡陣列的透鏡，在所述平行于第三方向的方向上以間距L等距排列，在垂直于所述第三方向的方向上以間距LCosβ等距排列；

所述輸入MEMS芯片用于將從所述輸入準直器陣列接收到的光信號反射至所述反射鏡，所述輸出MEMS芯片用于將從所述反射鏡接收到的所述光信號反射至所述輸出準直器陣列。

6.根據權利要求5所述的光開關，其特征在于，

所述輸入準直器陣列的透鏡陣列的透鏡，在所述平行于所述第三方向的方向上以間距L等距排列，在所述垂直于所述第三方向的方向上以間距LCosβ等距排列；

所述輸入MEMS芯片的微鏡陣列的微鏡，在所述平行于所述第三方向的方向及所述垂直于所述第三方向上均以間距L等距排列。

7.根據權利要求5或6所述的光開關，其特征在于，所述反射鏡為平面反射鏡、三角反射鏡或凹面反射鏡。