[發明專利]電子束交錯的束孔陣列有效
| 申請號： | 201480078802.2 | 申請日： | 2014-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN106415775B | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發明（設計）人： | Y·A·波羅多維斯基;D·W·納爾遜;M·C·菲利普斯 | 申請（專利權）人： | 英特爾公司 |
| 主分類號： | H01J37/30 | 分類號： | H01J37/30 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 陳松濤;王英 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子束 交錯 陣列 | ||
【權利要求書】：
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