[發(fā)明專利]即時(shí)電子束對(duì)準(zhǔn)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201480078800.3 | 申請(qǐng)日： | 2014-12-22 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106463347B | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-09-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | Y·A·波羅多維斯基;D·W·納爾遜;M·C·菲利普斯 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 英特爾公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/027 | 分類號(hào)： | H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 陳松濤;韓宏 |
| 地址： | 美國(guó)加*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 即時(shí) 電子束 對(duì)準(zhǔn) | ||
【說(shuō)明書】：
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- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 一種實(shí)現(xiàn)即時(shí)通訊的方法及系統(tǒng)
- 一種即時(shí)通信消息顯示管理系統(tǒng)及其方法和顯示界面
- 多主題即時(shí)消息發(fā)送
- 實(shí)現(xiàn)即時(shí)通信群中多個(gè)成員之間即時(shí)通信的方法及裝置
- 一種實(shí)現(xiàn)即時(shí)通信消息處理的方法和系統(tǒng)
- 一種會(huì)議即時(shí)通訊系統(tǒng)及其實(shí)現(xiàn)方法
- 即時(shí)通訊方法、服務(wù)器及系統(tǒng)
- 一種支持多服務(wù)器多賬號(hào)同時(shí)在線的即時(shí)通信方法和裝置
- 一種即時(shí)通信發(fā)送方法、控制方法、發(fā)送端及接收端
- 一種跨即時(shí)通信系統(tǒng)的好友添加方法
- 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,對(duì)準(zhǔn)方法和對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置、用于這樣的對(duì)準(zhǔn)裝置的對(duì)準(zhǔn)元件和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記及其對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
- 使用物理對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和虛擬對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)
- 使用物理對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和虛擬對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)
- 對(duì)準(zhǔn)裝置和對(duì)準(zhǔn)方法
- 對(duì)準(zhǔn)裝置及對(duì)準(zhǔn)方法
