[發明專利]用于旋轉涂布中的缺陷控制的蓋板有效
| 申請號： | 201480077666.5 | 申請日： | 2014-02-24 |
| 公開（公告）號： | CN106132564B | 公開（公告）日： | 2019-12-20 |
| 發明（設計）人： | 德里克·W·巴塞特;華萊士·P·普林茨;喬舒亞·S·霍格;一野克憲;寺下裕一;吉原孝介 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | B05C5/02 | 分類號： | B05C5/02;B05D3/12 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 潘煒;楊穎 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 旋轉 中的 缺陷 控制 蓋板 | ||
【說明書】：
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