[發明專利]成膜裝置有效
| 申請號： | 201480075411.5 | 申請日： | 2014-02-19 |
| 公開（公告）號： | CN106029938B | 公開（公告）日： | 2018-12-21 |
| 發明（設計）人： | 今原博和;若森保裕 | 申請（專利權）人： | 堺顯示器制品株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/00 | 分類號： | C23C14/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 | ||
【說明書】：
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