[發明專利]沉積裝置有效
| 申請號： | 201480075404.5 | 申請日： | 2014-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN106029941B | 公開（公告）日： | 2019-06-18 |
| 發明（設計）人： | 厚見正浩 | 申請（專利權）人： | 佳能安內華股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/32;G11B5/84 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 楊小明 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 沉積 裝置 | ||
【權利要求書】：
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