[發明專利]檢查方法和設備以及光刻設備在審
| 申請號： | 201480074167.0 | 申請日： | 2014-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN105934716A | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | A·J·登博夫 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 王茂華;張寧 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢查 方法 設備 以及 光刻 | ||
【權利要求書】：
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