[發明專利]用于在等離子體系統中使用的室組件的表面涂層在審
| 申請號： | 201480073572.0 | 申請日： | 2014-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN106414789A | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 卡洛·瓦爾德弗里德 | 申請（專利權）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/35;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司11287 | 代理人： | 齊楊 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 等離子體 系統 使用 組件 表面 涂層 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于恩特格里斯公司，未經恩特格里斯公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201480073572.0/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
