[發明專利]用于有機材料的蒸發源、具有用于有機材料的蒸發源的設備、具有帶有用于有機材料的蒸發源的蒸發沉積設備的系統以及用于操作用于有機材料的蒸發源的方法在審
| 申請號： | 201480073071.2 | 申請日： | 2014-02-04 |
| 公開（公告）號： | CN105917019A | 公開（公告）日： | 2016-08-31 |
| 發明（設計）人： | S·邦格特;U·舒斯勒;J·M·迭戈茲-坎波;D·哈斯 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/04;C23C14/12;B05D3/04;B05D1/02;B05D1/00;H01L51/00;H01L51/56;B65G49/05;C23C14/50;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 侯穎媖 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 有機 材料 蒸發 具有 設備 帶有 沉積 系統 以及 操作 方法 | ||
【權利要求書】：
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