[發明專利]極紫外光源有效
| 申請號： | 201480071653.7 | 申請日： | 2014-12-18 |
| 公開（公告）號： | CN105874887B | 公開（公告）日： | 2018-10-30 |
| 發明（設計）人： | 陶業爭;J·T·斯特瓦特;D·J·W·布朗 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | H05G2/00 | 分類號： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 紫外 光源 | ||
【說明書】：
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