[發明專利]干膜光致抗蝕劑用的光敏樹脂組合物有效
| 申請號： | 201480071090.1 | 申請日： | 2014-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN105849640B | 公開（公告）日： | 2019-11-26 |
| 發明（設計）人： | 崔鐘昱 | 申請（專利權）人： | 可隆工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/032 | 分類號： | G03F7/032;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/11;G06F3/041 |
| 代理公司： | 11327 北京鴻元知識產權代理有限公司 | 代理人： | 姜虎;陳英俊<國際申請>=PCT/KR2 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 干膜光致抗蝕劑用 光敏 樹脂 組合 | ||
【權利要求書】：
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