[發(fā)明專利]負(fù)型感光性樹脂組合物、樹脂固化膜、分隔壁和光學(xué)元件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480069461.2
• 申請(qǐng)日: 2014-12-12
• 公開（公告）號(hào): CN105829100B
• 公開（公告）日: 2017-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山田光太郎;松浦啟吾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 旭硝子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B32B27/00
• 分類號(hào): B32B27/00;C08F290/06;C08F299/02;G03F7/004;G03F7/027;H01L21/027;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/22
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇,李茂家

1.一種負(fù)型感光性樹脂組合物，其特征在于，包含：

具有光固化性的堿溶性樹脂或堿溶性單體(A)；

光聚合引發(fā)劑(B)；以及

拒墨劑(C)，其是水解性硅烷化合物混合物的部分水解縮合物，所述水解性硅烷化合物混合物包含具有R^f1OR^f2-所示的碳原子數(shù)2～40的一價(jià)基團(tuán)和水解性基團(tuán)的水解性硅烷化合物s1，R^f1OR^f2-中，R^f1為碳原子數(shù)1～6的多氟烷基，R^f2為在碳-碳原子間任選具有醚性氧原子的多氟亞烷基，其中，R^f1OR^f2-具有至少1個(gè)-O-CF₂-基，所述拒墨劑(C)的氟原子含有率為2質(zhì)量％以上且小于10質(zhì)量％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述水解性硅烷化合物s1為下式(cx-1)所示的化合物，

(R^f1OR^f2-Q¹)_a-Si(R^H1)_bX¹_(4-a-b)…(cx-1)

Q¹表示碳原子數(shù)1～10的不含氟原子的二價(jià)有機(jī)基團(tuán)，

R^H1表示碳原子數(shù)1～6的一價(jià)烴基，

a表示1或2，b表示0或1，a+b為1或2，

X¹表示水解性基團(tuán)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述R^f1為全氟烷基，R^f2為全氟亞烷基。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合物還包含硅原子上鍵合有4個(gè)水解性基團(tuán)的水解性硅烷化合物s2。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其中，所述水解性硅烷化合物混合物還包含具有含烯屬雙鍵的基團(tuán)和水解性基團(tuán)且不含氟原子的水解性硅烷化合物s3。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的負(fù)型感光性樹脂組合物，其還包含1分子中具有2個(gè)以上的烯屬雙鍵且不具有酸性基團(tuán)的交聯(lián)劑(D)。

7.一種樹脂固化膜，其特征在于，其是使用權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的負(fù)型感光性樹脂組合物而形成的。

8.一種樹脂固化膜，其是在基板上形成的權(quán)利要求7所述的樹脂固化膜，

在利用X射線光電子能譜(XPS)進(jìn)行的所述在基板上形成的樹脂固化膜的表面的組成分析及厚度方向的組成分析中，

在所述在基板上形成的樹脂固化膜的至少表面測(cè)定到表示硅原子及源自-O-CF₂-基的碳原子的存在的峰，

所述在基板上形成的樹脂固化膜的表面的源自-O-CF₂-基的碳原子濃度相對(duì)于源自取代或無(wú)取代的非氟代烴基的碳原子濃度的比值[C_FO/C_H]_(s)大于所述在基板上形成的樹脂固化膜的內(nèi)部的源自-O-CF₂-基的碳原子濃度相對(duì)于源自取代或無(wú)取代的非氟代烴基的碳原子濃度的比值[C_FO/C_H]_(i)，并且，

所述在基板上形成的樹脂固化膜的表面的硅原子濃度相對(duì)于源自取代或無(wú)取代的非氟代烴基的碳原子濃度的比值[Si/C_H]_(s)大于所述在基板上形成的樹脂固化膜的內(nèi)部的硅原子濃度相對(duì)于源自取代或無(wú)取代的非氟代烴基的碳原子濃度的比值[Si/C_H]_(i)。

9.一種分隔壁，其特征在于，其形成為將基板表面分隔成多個(gè)用于形成點(diǎn)的分區(qū)的形狀，所述分隔壁由權(quán)利要求7所述的樹脂固化膜或權(quán)利要求8所述的在基板上形成的樹脂固化膜形成。

10.一種光學(xué)元件，其特征在于，其在基板表面具有多個(gè)點(diǎn)和位于相鄰的點(diǎn)間的分隔壁，所述分隔壁由權(quán)利要求9所述的分隔壁形成。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)元件，其特征在于，所述點(diǎn)用噴墨法形成。