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[發明專利]感光性轉印材料、圖案形成方法及蝕刻方法有效

專利信息
申請號: 201480069251.3 申請日: 2014-12-01
公開(公告)號: CN105849637B 公開(公告)日: 2019-10-15
發明(設計)人: 佐藤守正 申請(專利權)人: 富士膠片株式會社
主分類號: G03F7/004 分類號: G03F7/004;G03F7/039
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021 代理人: 葛凡
地址: 日本國*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 感光性 材料 圖案 形成 方法 蝕刻
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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