[發明專利]壓印光刻術模板和用于零間隙壓印的方法

有效

• 申請號: 201480066234.4
• 申請日: 2014-12-10
• 公開（公告）號: CN105793777B
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: G·S·哈瑟;K·塞利尼迪斯;葉正茂
• 申請（專利權）人: 佳能納米技術公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 茅翊忞

1.一種壓印光刻術模板，包括：

本體，本體具有第一側和第二側，

臺面，臺面從本體的第一側延伸，臺面具有邊緣并進一步包括圖形區域、前導邊緣邊界和尾部邊緣邊界，

其中，圖形區域具有圖形特征，圖形特征具有高度并且被前導和尾部邊緣邊界包圍，而且前導邊緣邊界從圖形區域延伸到臺面邊緣，

其中，前導邊緣邊界沿著第一對鄰近臺面邊緣形成，并包括虛擬填充特征，虛擬填充特征具有與圖形區域特征相同的高度，并且

其中，尾部邊緣邊界沿著與第一對相對的第二對鄰近臺面邊緣形成，并包括延伸到臺面邊緣并且向臺面邊緣敞開的單個凹陷，該凹陷所具有的深度與圖形區域特征的高度相同。

2.如權利要求1所述的壓印光刻術模板，其特征在于，所述臺面角被倒角。

3.如權利要求1或2所述的壓印光刻術模板，其特征在于，所述虛擬填充特征是細長的，并且其中，如此特征的至少一部分平行于鄰近臺面邊緣定向。

4.如權利要求3所述的壓印光刻術模板，其特征在于，所述虛擬填充特征包括多排交錯的桿。

5.如權利要求3所述的壓印光刻術模板，其特征在于，所述虛擬填充特征包括格柵。

6.如權利要求5所述的壓印光刻術模板，其特征在于，進一步包括正交于臺面邊緣定向的附加格柵。

7.一種壓印光刻術方法，包括：

將聚合物化材料的第一部分沉積在基底的第一區場上；

使聚合物化材料的已沉積的第一部分與上述權利要求中任一項所述的壓印光刻術模板接觸；

固化聚合物化材料的第一部分以在基底的第一區場上形成第一圖形層，第一圖形層沿著該第一圖形層的鄰近的第一和第二邊緣區域形成虛擬特征，已形成的虛擬特征對應于模板的前導邊緣邊界的虛擬特征；

使模板與已形成的第一圖形層分離；

將聚合物化材料的第二部分沉積在基底的第二區場上，該第二區場鄰近于第一區場并沿著具有已形成的虛擬特征的第一邊緣區域定位；

將模板定位成與第二區場上的已沉積的聚合物化材料重疊，使得模板的尾部邊緣邊界的對應邊緣區域交疊第一圖形層的第一邊緣區域的已形成的虛擬特征；

使聚合物化材料的已沉積的第二部分與模板接觸；

固化聚合物化材料的第二部分以在基底的第二區場上形成第二圖形層；以及

使模板與已形成的第二圖形層分離。

8.如權利要求7所述的壓印光刻術方法，其特征在于，進一步包括：

將聚合物化材料的第三部分沉積在基底的第三區場上，第三區場鄰近第一區域并沿著具有虛擬特征的第二邊緣區域定位；

將模板定位成與第三區場上的已沉積的聚合物化材料重疊，使得模板的尾部邊緣邊界的對應邊緣區域交疊第一圖形層的第二邊緣區域的已形成的虛擬特征；

使聚合物化材料的已沉積的第三部分與模板接觸；

固化聚合物化材料的第三部分以在基底的第三區場上形成第三圖形層；以及

使模板與已形成的第三圖形層分離。

9.如權利要求8所述的壓印光刻術方法，其特征在于，進一步包括：

將聚合物化材料的第四部分沉積在基底的第四區場上，第四區場與第一區場對角線地定位并鄰近第二和第三區場定位；

將模板定位成與第四區場上的已沉積的聚合物化材料重疊，使得模板的尾部邊緣邊界的對應邊緣區域交疊第二和第三圖形層的邊緣區域內形成的虛擬特征；

使聚合物化材料的已沉積的第四部分與模板接觸；

固化聚合物化材料的第四部分以在基底的第四區場上形成第四圖形層；以及

使模板與已形成的第四圖形層分離。

10.如權利要求9所述的壓印光刻術方法，其特征在于，在第一、第二、第三和第四區場的相交處只有單一的交疊。