[發(fā)明專利]用于蝕刻技術(shù)的表面結(jié)構(gòu)化的模板有效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	201480064433.1	申請(qǐng)日：	2014-11-24
公開(kāi)（公告）號(hào)：	CN106488807B	公開(kāi)（公告）日：	2018-05-18
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	彼得·克斯佩爾	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	AKK有限公司
主分類號(hào)：	B05C9/06	分類號(hào)：	B05C9/06;G03F7/00;G03F7/12;C23F1/00;B41M7/00;B44C1/00;B41M1/20;B44C1/22;B29C33/38;B29C45/37
代理公司：	北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112	代理人：	張?zhí)焓?張杰
地址：	德國(guó)克***	國(guó)省代碼：	暫無(wú)信息
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摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	用于蝕刻技術(shù) 表面結(jié)構(gòu) 模板
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