[發(fā)明專利]剝離方法及裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480063357.2
• 申請日: 2014-11-04
• 公開（公告）號: CN105745168A
• 公開（公告）日: 2016-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: R·A·貝爾曼;R·G·曼利;A·T·斯蒂芬斯二世
• 申請（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: B65H41/00
• 分類號: B65H41/00
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 李丹丹

相關(guān)申請的交叉引用

本申請在35U.S.C.§119下要求于2013年11月19日提交的美國臨時申請序列號61/906065的優(yōu)先權(quán)的權(quán)益；該申請的內(nèi)容作為依據(jù)并且以引用的方式全部并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開大體涉及用于剝離基板的方法及裝置，并且更具體涉及用于從第二基板剝離第一基板的方法及裝置。

背景技術(shù)

在柔性電子或其他器件的制造中使用較薄的柔性玻璃方面存在興趣。柔性玻璃可具有與電子器件的制造或性能相關(guān)的若干有益特性，例如，液晶顯示器(LCD)、電泳顯示器(EPD)、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)、電漿顯示器面板(PDP)、觸控傳感器、光伏器件等等。在柔性玻璃的使用中的一種能力是能夠以薄板形式而非卷形式操作玻璃。

為了在柔性玻璃的處理期間能夠操作柔性玻璃，通常使用聚合物黏合劑將柔性玻璃黏合至剛性載體基板。一旦黏合至載體基板，則載體基板的剛性特征及大小允許在生產(chǎn)中在無需彎曲柔性玻璃或?qū)θ嵝圆ＡМa(chǎn)生損害的情況下操作經(jīng)黏結(jié)結(jié)構(gòu)。例如，薄膜晶體管(TFT)部件在LCD的生產(chǎn)中可附接于柔性玻璃。

在處理之后，將柔性玻璃從載體基板移除。然而，由于柔性玻璃所具有的纖弱性質(zhì)，施加至柔性玻璃以將柔性玻璃從載體基板分離的力可能損害柔性玻璃。而且，分離制程往往也可能損害載體基板，從而使載體基板無法用于將來的使用。由此，存在著需要用于從載體基板分離較薄的柔性玻璃的實用的解決方案，該解決方案減少損害柔性玻璃或載體基板的可能性。

發(fā)明內(nèi)容

下文展示本公開的簡化概述，以便提供對詳細(xì)說明中所述的一些示例性方面的基本了解。

在本公開的第一方面中，一種用于將第一基板自第二基板剝離的剝離裝置包括剝離構(gòu)件，其配置為圍繞支撐軸線旋轉(zhuǎn)。所述剝離構(gòu)件包括附接構(gòu)件，所述附接構(gòu)件包括弓形表面并且配置為相對于所述弓形表面可釋放地安裝所述第一基板。所述剝離裝置進(jìn)一步包括平移機(jī)構(gòu)，其配置為相對于所述第二基板平移所述支撐軸線以在所述剝離構(gòu)件圍繞所述支撐軸線旋轉(zhuǎn)的同時，將所述剝離構(gòu)件移離所述第二基板。

在第一方面的一個示例中，所述平移機(jī)構(gòu)配置為舉起所述剝離構(gòu)件的重量以將所述剝離構(gòu)件移離所述第二基板。

在第一方面的另一示例中，所述剝離構(gòu)件配置為圍繞所述支撐軸線自由旋轉(zhuǎn)，而所述平移機(jī)構(gòu)平移所述支撐軸線。

在第一方面的又一示例中，所述弓形表面包括沿所述弓形表面的外側(cè)徑向輪廓改變的曲率半徑。

在第一方面的又一示例中，所述附接構(gòu)件包括一或更多個真空端口。

在第一方面的又一示例中，所述附接構(gòu)件包括從所述弓形表面延伸的抬高的表面部分，并且所述抬高的表面部分包括抬高的表面，所述抬高的表面包括與所述弓形表面的曲率大體上匹配的曲率。

在第一方面的又一示例中，所述附接構(gòu)件進(jìn)一步包括密封構(gòu)件，所述密封構(gòu)件圍繞所述附接構(gòu)件的表面部分。

在第一方面的又一示例中，所述剝離裝置進(jìn)一步包括支撐平臺，所述支撐平臺配置為支撐第二基板。在一個示例中，所述支撐平臺可包括附接部分，所述附接部分配置為將第二基板可釋放地安裝至所述支撐平臺。在另一示例中，所述剝離裝置可包括鎖定器件，所述鎖定器件配置為可釋放地鎖定所述支撐平臺的運動。在又一示例中，所述支撐平臺可配置為在所述剝離構(gòu)件圍繞所述支撐軸線旋轉(zhuǎn)的同時平移。

可單獨執(zhí)行第一方面，或結(jié)合上文論述的第一方面的示例中的一者或任何組合一起執(zhí)行。

在本公開的第二方面中，一種用于將第一基板從第二基板剝離的方法包括步驟(I)：相對于剝離構(gòu)件的弓形表面可釋放地安裝所述第一基板。所述方法進(jìn)一步包括步驟(II)：相對于支撐位置可釋放地安裝所述第二基板。所述方法進(jìn)一步包括步驟(III)：相對于所述第二基板平移所述剝離構(gòu)件的支撐軸線，以將所述剝離構(gòu)件移離所述第二基板，其中在所述剝離構(gòu)件圍繞所述支撐軸線旋轉(zhuǎn)時，所述第一基板從所述第二基板剝離。

在第二方面的一個示例中，步驟(III)包括舉起所述剝離構(gòu)件的重量以將所述剝離構(gòu)件移離所述第二基板。

在第二方面的另一示例，步驟(I)進(jìn)一步包括在步驟(III)期間定位所述剝離構(gòu)件以產(chǎn)生圍繞所述軸線的一力矩的步驟。在一個示例中，步驟(III)的所述力矩驅(qū)動所述剝離構(gòu)件在步驟(III)期間圍繞所述支撐軸線的所述旋轉(zhuǎn)。在另一示例中，通過所述剝離構(gòu)件的重量產(chǎn)生所述力矩。