[發明專利]用于透鏡組件的UV保護涂層

有效

• 申請號: 201480060683.8
• 申請日: 2014-09-02
• 公開（公告）號: CN105705978B
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: M·J·康杰米;R·D·格雷伊達;K·E·罕福德;J-F·澳達德
• 申請（專利權）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;G02B1/14;G02B5/20;G02B1/11
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

一種透鏡組件，包括：透鏡；光吸收劑，該光吸收劑不透射具有從大于或等于大約250nm至小于或等于大約400nm的波長的光；透鏡固持器；以及粘合劑，該粘合劑被配置成用于將該透鏡粘附至該透鏡固持器。該光吸收劑被定位從而使得具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長的光無法入射至該粘合劑。一種方法，包括：應用光吸收劑，該光吸收劑不向透鏡透射具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長的光；以及配置該光吸收劑和該粘合劑從而使得所吸收的光無法入射至該粘合劑。

本申請要求2013年9月6日提交的美國申請序列號14/020102在美國法典第35篇第120條款下的優先權的權益，其內容通過引用以其全文依賴且結合在此。

技術領域

本說明書總體上涉及透鏡的保護涂層以及用于將透鏡粘附至光學系統的方法。

背景技術

透鏡系統被用于各種最終用戶應用，包括用于光刻和半導體檢查設備。在這些應用中，來自光源的光被引入到系統以便進行操作。然而，在一些應用中，引入到透鏡元件的UV光可降解(degrade)被定位成將透鏡元件耦合至透鏡固持器的粘合劑。粘合劑的降解可導致透鏡元件的未對準。

從而，用于光學系統的UV保護涂層是可期望的。

發明內容

根據一個實施例，描述了一種光學組件，包括：透鏡；光吸收劑，該光吸收劑不透射具有從大于或等于大約250nm至小于或等于大約400nm的波長的光；透鏡固持器；以及粘合劑，該粘合劑被配置成用于將該透鏡粘附至該透鏡固持器。該光吸收劑被定位從而使得具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長的光無法入射至該粘合劑。

在另一個實施例中，描述了一種光學組件，包括：透鏡；光吸收劑，該光吸收劑不透射具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長的光；以及定位于該光吸收劑上的保護層。

在又一個實施例中，描述了一種用于減少光學組件中的粘合劑的降解的方法，包括：將光吸收劑應用于透鏡，其中，該光吸收劑不透射具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長的光；配置所述光吸收劑和所述粘合劑從而使得具有從大于或等于大約190nm至小于或等于大約500nm的波長的光無法入射至所述粘合劑。

附加特征以及優點將在以下詳細描述中予以闡明、并且部分從該描述中對本領域普通技術人員而言將變得非常明顯或者通過實踐本文中所描述的實施例很容易被識別，包括以下詳細描述、權利要求書以及所附附圖。

應當理解，上述概括描述和以下詳細描述兩者均描述各實施例并且旨在為理解所請求保護的主題的本質和特征提供概要或框架。附圖被包括以便提供對各實施例的進一步理解，并被結合在本說明書中并構成本說明書的一部分。附圖展示了本文所描述的各實施例，并且與詳細描述一起用于解釋所請求包括的主題的原理和操作。

附圖說明

附圖中闡明的實施例在本質上是說明性的且示例性的并且并不旨在限制由權利要求書限定的主題。當結合以下附圖閱讀時，能夠理解說明性實施例的以下詳細描述，其中，相似結構用相似參考數字指示，并且在附圖中：

圖1示意性地描繪了根據本文中所示出或描述的一個或多個實施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的光學系統的切除前視圖；

圖2示意性地描繪了根據本文中所示出或描述的一個或多個實施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的透鏡組件的俯視圖；

圖3示意性地描繪了根據本文中所示出或描述的一個或多個實施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的透鏡組件的沿圖2的線A-A示出的截面前視圖；

圖4示意性地描繪了根據本文中所示出或描述的一個或多個實施例的具有耦合至透鏡固持器的透鏡的透鏡組件的在圖3的視圖J示出的詳細截面前視圖；