[發(fā)明專(zhuān)利]熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480058273.X
• 申請(qǐng)日: 2014-10-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105659398B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄉(xiāng)古倫央;坂井田敦資;谷口敏尚;白石芳彥;岡本圭司
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社電裝
• 主分類(lèi)號(hào): H01L35/32
• 分類(lèi)號(hào): H01L35/32;H01L35/16;H01L35/34
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;舒艷君

準(zhǔn)備配置有中間部(40c、50c)或者構(gòu)成上述中間部(40c、50c)的導(dǎo)電膏(41、51)的絕緣基材(10)、形成有表面圖案(21)的表面保護(hù)部件(20)、以及形成有背面圖案(31)的背面保護(hù)部件(30)。然后，構(gòu)成如下的層疊體(90)：在表面圖案(21)與中間部(40c、50c)或者構(gòu)成中間部(40c、50c)的導(dǎo)電膏(41、51)之間，配置第一端部(40a、50a)或者構(gòu)成第一端部(40a、50a)的導(dǎo)電膏(41、51)，在背面圖案(31)與中間部(40c、50c)或者構(gòu)成中間部(40c、50c)的導(dǎo)電膏(41、51)之間，配置有第二端部(40b、50b)或者構(gòu)成第二端部(40b、50b)的導(dǎo)電膏(41、51)。然后，使該層疊體(90)一體化從而形成熱電轉(zhuǎn)換元件(40、50)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及熱電轉(zhuǎn)換元件與布線圖案連接而成的熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法。

背景技術(shù)

以往，例如專(zhuān)利文獻(xiàn)1提出了一種熱電轉(zhuǎn)換裝置，在對(duì)置配置的第一、第二基板之間配置有多個(gè)熱電轉(zhuǎn)換元件，上述多個(gè)熱電轉(zhuǎn)換元件與形成于第一基板的表面圖案以及形成于第二基板的背面圖案連接。

具體而言，在該熱電轉(zhuǎn)換裝置中，熱電轉(zhuǎn)換元件在與第一、第二基板的面方向平行的方向的截面積中，與背面圖案連接的端部的截面積大于與表面圖案連接的端部的截面積，以及大于將上述各端部連結(jié)起來(lái)的中間部的截面積。

由此，與熱電轉(zhuǎn)換元件在中間部的截面積恒定的情況比較，能夠增大在背面圖案與熱電轉(zhuǎn)換元件的界面所產(chǎn)生的熱電轉(zhuǎn)換的效果。另外，與熱電轉(zhuǎn)換元件在背面圖案?jìng)?cè)的端部的截面積恒定的情況比較，能夠抑制熱電轉(zhuǎn)換元件的熱阻力變小，能夠抑制第一、第二基板的溫差變小。

這樣的熱電轉(zhuǎn)換裝置以如下方式制造。即，首先，在形成有背面圖案的第二基板上配置熱電導(dǎo)體塊。然后，從與第二基板側(cè)的相反側(cè)利用切割刀具等分離熱電導(dǎo)體塊而形成多個(gè)熱電轉(zhuǎn)換元件。此時(shí)，作為切割刀具，使用刀尖部的寬度朝向前端而從兩側(cè)連續(xù)變窄的尖細(xì)形狀的刀具。由此，在切斷熱電導(dǎo)體塊時(shí)，形成背面圖案?jìng)?cè)的端部的截面積比表面圖案?jìng)?cè)的端部的截面積以及中間部的截面積大的熱電轉(zhuǎn)換元件。然后，在隔著各熱電轉(zhuǎn)換元件而與第二基板的相反側(cè)配置形成有表面圖案的第一基板，由此制造上述熱電轉(zhuǎn)換裝置。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2004-165366號(hào)公報(bào)

然而，近幾年，為了進(jìn)一步提高熱電轉(zhuǎn)換元件的熱電轉(zhuǎn)換的效果，希望除了與背面圖案連接的端部的截面積之外，也使與表面圖案連接的端部的截面積比中間部的截面積大。

然而，在上述熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法中，由于是從與第二基板側(cè)的相反側(cè)利用切割刀具分離熱電導(dǎo)體塊從而形成熱電轉(zhuǎn)換元件，所以難以使表面圖案?jìng)?cè)的端部的截面積比中間部的截面積大。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明鑒于上述情況，目的是提供一種熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法，該熱電轉(zhuǎn)換裝置具有與表面圖案連接的端部以及與背面圖案連接的端部的截面積比將上述各端部連結(jié)起來(lái)的中間部的截面積大的熱電轉(zhuǎn)換元件。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，提供一種熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法，該熱電轉(zhuǎn)換裝置具備：絕緣基材，其配置有多個(gè)熱電轉(zhuǎn)換元件；表面保護(hù)部件，其配置于絕緣基材的表面，并形成有與規(guī)定的熱電轉(zhuǎn)換元件電連接的表面圖案；以及背面保護(hù)部件，其配置在絕緣基材的與表面相反側(cè)的背面，并形成有與規(guī)定的熱電轉(zhuǎn)換元件電連接的背面圖案，熱電轉(zhuǎn)換元件具有與表面圖案連接的第一端部、與背面圖案連接的第二端部、以及將第一端部與第二端部連結(jié)起來(lái)的中間部，在與絕緣基材的平面方向平行的方向的截面積中，第一端部及第二端部的截面積比中間部的截面積大，上述熱電轉(zhuǎn)換裝置的制造方法具有如下特征。