[發明專利]雙極性晶體管有效
| 申請號: | 201480057758.7 | 申請日: | 2014-08-27 |
| 公開(公告)號: | CN105793966B | 公開(公告)日: | 2018-12-04 |
| 發明(設計)人: | 大川峰司;江口博臣;金原啓道;池田智史 | 申請(專利權)人: | 豐田自動車株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/331 | 分類號: | H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732 |
| 代理公司: | 北京金信知識產權代理有限公司 11225 | 代理人: | 蘇萌萌;范文萍 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 極性 晶體管 | ||
1.一種雙極性晶體管,其為具有半導體基板的雙極性晶體管,其中,
半導體基板具有:
p型的發射區,其被設置在半導體基板的上表面的一部分處;
p型的集電區,其被設置在半導體基板的上表面的一部分處;
n型的基區,其被設置在半導體基板的上表面的一部分處,且被設置在發射區與集電區之間;
p型的第一埋入區,其被設置于基區的下方;
n型區,其與基區相比n型雜質濃度較低,并且與發射區、集電區、基區、第一埋入區相接,并使發射區與基區以及第一埋入區分離,且使集電區與基區以及第一埋入區分離,
基區的n型雜質濃度在1×1017atoms/cm3以上,
基區的一部分與第一埋入區相比向集電區側突出。
2.如權利要求1所述的雙極性晶體管,其中,
半導體基板還具有p型的第二埋入區,該第二埋入區被設置于第一埋入區的下方,并且通過n型區而與第一埋入區分離。
3.一種雙極性晶體管,其為具有半導體基板的雙極性晶體管,其中,
半導體基板具有:
n型的發射區,其被設置在半導體基板的上表面的一部分處;
n型的集電區,其被設置在半導體基板的上表面的一部分處;
p型的基區,其被設置在半導體基板的上表面的一部分處,且被設置在發射區與集電區之間;
n型的第一埋入區,其被設置于基區的下方;
p型區,其與基區相比p型雜質濃度較低,并且與發射區、集電區、基區、第一埋入區相接,并使發射區與基區以及第一埋入區分離,且使集電區與基區以及第一埋入區分離,
基區的p型雜質濃度在1×1017atoms/cm3以上,
基區的一部分與第一埋入區相比向發射區側突出。
4.如權利要求3所述的雙極性晶體管,其中,
半導體基板還具備n型的第二埋入區,該第二埋入區被設置于第一埋入區的下方,并且通過p型區而與第一埋入區分離。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





