[發(fā)明專利]閉合回路動(dòng)態(tài)電容測(cè)量

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480056226.1
• 申請(qǐng)日: 2014-10-08
• 公開（公告）號(hào): CN105637577B
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: W·J·R·范利爾;R·S·川本;J·S·埃德加;P·K·瓦爾馬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 追蹤有限公司
• 主分類號(hào): G09G3/34
• 分類號(hào): G09G3/34
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287
• 代理人: 林斯凱

優(yōu)先權(quán)數(shù)據(jù)

本專利文獻(xiàn)請(qǐng)求2014年4月4日申請(qǐng)且名為“CLOSED LOOP DYNAMIC CAPACITANCE MEASUREMENT”的共同未決且共同讓渡的美國(guó)專利申請(qǐng)案第14/245,881號(hào)(代理人案號(hào)QUALP213/134027)的優(yōu)先權(quán)，所述申請(qǐng)案請(qǐng)求Van Lier等人于2013年10月21日申請(qǐng)的名為“Closed Loop Dynamic Capacitance Measurement”的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)案第61/893,808號(hào)(代理人案號(hào)134027P1/QUALP213P)的優(yōu)先權(quán)，所述申請(qǐng)案的內(nèi)容全文皆特此以引用的方式并入且用于任何目的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及機(jī)電系統(tǒng)及裝置。更具體地，本發(fā)明涉及確定與機(jī)電系統(tǒng)裝置(例如，干涉調(diào)制器(IMOD))相關(guān)聯(lián)的電容。

背景技術(shù)

機(jī)電系統(tǒng)(EMS)包含具有電組件及機(jī)械組件、致動(dòng)器、轉(zhuǎn)換器、傳感器、光學(xué)組件(例如，鏡子及光學(xué)薄膜)及電子裝置的裝置?？梢远喾N尺度(包含(但不限于)微尺度及奈米尺度)來制造EMS裝置或組件。例如，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置可包含具有范圍為約一微米至數(shù)百微米或更大的大小的結(jié)構(gòu)。奈米機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)裝置可包含具有小于一微米的大小(包含(例如)小于數(shù)百奈米的大小)的結(jié)構(gòu)?？墒褂贸练e、蝕刻、光刻及/或蝕刻掉襯底及/或所沉積材料層的部分或添加層以形成電裝置及機(jī)電裝置的其它微機(jī)械加工工藝來產(chǎn)生機(jī)電組件。

一種類型的EMS裝置被稱為干涉調(diào)制器(IMOD)。術(shù)語IMOD或干涉光調(diào)制器指代使用光學(xué)干涉的原理選擇性吸收及/或反射光的裝置。在一些實(shí)施方案中，IMOD顯示組件可包含一對(duì)導(dǎo)電板，所述對(duì)導(dǎo)電板中的一或兩者可為整體或部分透明的及/或反射的，且能夠在施加適當(dāng)電信號(hào)之后進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)。例如，一個(gè)板可包含沉積于襯底上方、襯底的上或由襯底支撐的靜止層，且另一板可包含與靜止層相隔一氣隙的反射膜。一個(gè)板相對(duì)于另一板的位置可改變?nèi)肷溆贗MOD顯示組件上的光的光學(xué)干涉?；贗MOD的顯示裝置具有廣泛范圍的應(yīng)用，且預(yù)期在改善現(xiàn)有產(chǎn)品及產(chǎn)生新產(chǎn)品(尤其具有顯示能力的產(chǎn)品)中使用。

在一些實(shí)施方案中，IMOD的可移動(dòng)組件可自起點(diǎn)且在電壓至IMOD的電極的特定施加下移動(dòng)至特定位置。然而，另一IMOD的可移動(dòng)組件可自相同起點(diǎn)且在相同的電壓施加下移動(dòng)至略有不同的位置。可移動(dòng)組件可包含基于可移動(dòng)組件的位置以波長(zhǎng)反射光的鏡子。因此，IMOD可以不同波長(zhǎng)反射光，這是因?yàn)榭梢苿?dòng)組件可在略有不同的位置處。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的系統(tǒng)、方法及裝置各自具有若干創(chuàng)新方面，所述方面中無單一方面單獨(dú)負(fù)責(zé)本文中所揭示的所要屬性。

本發(fā)明中描述的主題的一個(gè)創(chuàng)新方面可在一種電路中實(shí)施，所述電路包含：放大器，其具有第一輸入、第二輸入及輸出，所述放大器的所述第一輸入與電壓參考源耦合；電流源，其具有輸入及輸出，所述電流源的所述輸入與放大器的輸出耦合，所述電流源的所述輸出與放大器的第二輸入耦合，所述電流源經(jīng)電壓控制；及一或多個(gè)顯示單元，其具有第一端子，所述第一端子與放大器的第二輸入耦合且與電流源的輸出耦合，其中電流源基于與放大器的輸出相關(guān)聯(lián)的電壓提供電流，電流增加直至與一或多個(gè)顯示單元的第一端子相關(guān)聯(lián)的電壓等于與電壓參考源相關(guān)聯(lián)的電壓為止。

在一些實(shí)施方案中，電路可包含反饋電容器，其具有第一端子及第二端子，所述反饋電容器的所述第一端子與電流源的輸出耦合，所述反饋電容器的所述第二端子與放大器的輸出耦合。

在一些實(shí)施方案中，反饋電容器的電容小于或等于一或多個(gè)顯示單元的電容。

在一些實(shí)施方案中，電路可包含模/數(shù)轉(zhuǎn)換器，其具有與放大器的輸出耦合的輸入。

在一些實(shí)施方案中，一或多個(gè)顯示單元具有經(jīng)設(shè)置為第一固定電壓的第二端子。

在一些實(shí)施方案中，一或多個(gè)顯示單元具有經(jīng)設(shè)置為第一固定電壓的第三端子。

在一些實(shí)施方案中，一或多個(gè)顯示單元具有經(jīng)設(shè)置為第二固定電壓的第三端子。

在一些實(shí)施方案中，顯示單元的第一端子與可移動(dòng)組件相關(guān)聯(lián)。

在一些實(shí)施方案中，電壓參考源斜升穿過與可移動(dòng)組件的行進(jìn)范圍相關(guān)聯(lián)的電壓范圍。

在一些實(shí)施方案中，可移動(dòng)組件的行進(jìn)范圍在顯示單元的第二端子與第三端子之間。

在一些實(shí)施方案中，電流源具有線性增益。