[發(fā)明專利]用于準(zhǔn)確測量及映射大面積橫向P-N結(jié)的正向及反向偏壓電流對電壓特性的設(shè)備及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201480055915.0 | 申請日： | 2014-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN105612427B | 公開（公告）日： | 2020-01-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | I·S·G·凱利-摩根;V·N·法伊費爾;J·A·里爾;B·沙魯克;R·尼費尼格 | 申請（專利權(quán)）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R19/00 | 分類號： | G01R19/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 準(zhǔn)確 測量 映射 大面積 橫向 正向 反向 偏壓 電流 電壓 特性 設(shè)備 方法 | ||
1.一種用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其包括：
第一探針，其經(jīng)配置用于與p-n結(jié)的第一層的表面建立電連接，經(jīng)建立的電連接覆蓋經(jīng)優(yōu)化以最小化橫向電流的所述p-n結(jié)的所述第一層的所述表面的區(qū)域；
第二探針，其經(jīng)配置用于電接觸形成所述p-n結(jié)的所述第一層與第二層；
測量單元，其電連接到所述第一探針及所述第二探針，所述測量單元經(jīng)配置用于測量以下各者中的至少一者：當(dāng)激勵所述第一及所述第二探針時介于所述第一與所述第二探針之間的電壓及介于所述第一與所述第二探針之間的電流；及
防護(hù)回路，其經(jīng)配置用于防止來自所述第一探針的所述橫向電流，其中可基于所述第一探針與所述防護(hù)回路之間的經(jīng)測量表面電壓差調(diào)整以下各者中的至少一者：施加于所述防護(hù)回路的電壓及電流。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其中所述第一探針是圓盤狀探針，其具有能夠降低所述圓盤狀探針外部的所述橫向電流的直徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其中由所述第一探針覆蓋的所述區(qū)域在準(zhǔn)確度及空間映射分辨率上經(jīng)優(yōu)化使得在所述第一探針下所述橫向電流對法向電流的比率在密度泄漏電流測量的所需準(zhǔn)確度內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其中所述第一探針由導(dǎo)電及彈性聚合物制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其中所述第一探針被安裝到機械致動器以提供對所述p-n結(jié)的所述第一層的所述表面的角度偏移的完全順應(yīng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其進(jìn)一步包括：
至少一個電壓測量探針，其經(jīng)配置用于測量由所述第一探針覆蓋的所述表面的所述區(qū)域內(nèi)的一位置處的表面電壓。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其中所述至少一個電壓測量探針是圓盤狀探針，其在由所述第一探針界定的開口內(nèi)部提供與所述p-n結(jié)的所述第一層的所述表面的接觸。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其中所述至少一個電壓測量探針是非接觸式探針，其被放置在由所述第一探針界定的開口內(nèi)部所述p-n結(jié)的所述第一層的所述表面附近。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其中所述第一探針是環(huán)狀探針，其具有能夠降低所述環(huán)狀探針外部的所述橫向電流的直徑，且其中所述至少一個電壓測量探針經(jīng)配置用于在所述環(huán)狀探針的中心處界定的開口處測量所述表面電壓。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其進(jìn)一步包括：
建立在所述第一探針與所述防護(hù)回路之間的多個電接觸件，所述多個電接觸件經(jīng)配置用于測量所述第一探針與所述防護(hù)回路之間的表面電壓降。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其中使用至少一個非接觸式探針測量所述表面電壓差。
12.一種用于測量電流-電壓特性的設(shè)備，其包括：
第一探針，其經(jīng)配置用于與p-n結(jié)的第一層的表面建立電連接；
第二探針，其經(jīng)配置用于接觸所述p-n結(jié)；
多個電壓測量探針，其經(jīng)配置用于測量表面電壓降；
防護(hù)回路，其經(jīng)配置用于防止來自所述第一探針的橫向電流，其中可基于經(jīng)測量表面電壓降調(diào)整以下各者中的至少一者：施加于所述防護(hù)回路的電壓及電流；及
測量單元，其電連接到所述第一探針及所述第二探針，所述測量單元經(jīng)配置用于測量以下各者中的至少一者：當(dāng)激勵所述第一及所述第二探針時介于所述第一與所述第二探針之間的電壓及介于所述第一與所述第二探針之間的電流。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于科磊股份有限公司，未經(jīng)科磊股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201480055915.0/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
