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[發明專利]用于將多個薄的固體層與厚的固體分離的組合制造方法在審

專利信息
申請號: 201480055767.2 申請日: 2014-10-08
公開(公告)號: CN105899716A 公開(公告)日: 2016-08-24
發明(設計)人: 沃爾弗拉姆·德雷舍爾;揚·黎克特 申請(專利權)人: 西爾特克特拉有限責任公司
主分類號: C30B33/06 分類號: C30B33/06;B23K26/00;B28D1/22;H01L21/762
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 丁永凡;周濤
地址: 德國德*** 國省代碼: 德國;DE
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摘要:
搜索關鍵詞: 用于 將多個薄 固體 分離 組合 制造 方法
【說明書】:
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