[發明專利]檢測裝置在審
| 申請號： | 201480055712.1 | 申請日： | 2014-09-02 |
| 公開（公告）號： | CN105849508A | 公開（公告）日： | 2016-08-10 |
| 發明（設計）人： | 有山稔 | 申請（專利權）人： | 精工半導體有限公司 |
| 主分類號： | G01D21/00 | 分類號： | G01D21/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;姜甜 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
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