[發(fā)明專利]熱敏感層氣體傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480054767.0
• 申請日: 2014-09-29
• 公開（公告）號: CN105659076B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: K·阿吉爾;M·本達安;V·M·萊捷馬丁尼
• 申請（專利權(quán)）人: 埃克斯-馬賽大學(xué);科學(xué)研究國家中心
• 主分類號: G01N27/406
• 分類號: G01N27/406;G01N27/22;H05B3/14;G01N27/407
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 楊曉光;于靜

1.一種熱敏感層傳感器，包括：

絕緣基底，承載敏感層；

以兩個相鄰導(dǎo)電道的形式的兩個互補測量電極，被配置為與所述敏感層電接觸；以及

以電阻道的形式的加熱元件，被布置在所述基底上，用于均勻加熱所述敏感層的有源區(qū)；

其中所述電阻道包括至少三個沿所述電阻道長度勻稱間隔的電力供應(yīng)點，且每個位列奇數(shù)的點由相同的第一電源電壓供電，而每個位列偶數(shù)的點由相同的第二電源電壓供電。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，包括：

第一共用電源線路，被連接到所述電阻道的所述位列奇數(shù)的點；以及

第二共用電源線路，被連接到所述電阻道的所述位列偶數(shù)的點。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其中投射到所述電阻道的平面上的所述電極的所述導(dǎo)電道的版圖，保持在限定所述電阻道周圍的邊界外面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳感器，其中所述電阻道和所述電極的所述導(dǎo)電道共面。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳感器，其中在所述敏感層的所述有源區(qū)中所述電阻道和所述電極的所述導(dǎo)電道的方向變化具有非零的曲率半徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器，其中所述電阻道包括連續(xù)的U形弧，且所述兩個導(dǎo)電道與所述電阻道平行，進入每個弧，最遠離所述電阻道的所述導(dǎo)電道當退出弧時結(jié)束，而鄰近所述電阻道的所述導(dǎo)電道當退出弧時在所述最遠的導(dǎo)電道的末端周圍形成U形轉(zhuǎn)彎以返回到所述弧中。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器，其中所述電阻道與所述導(dǎo)電道共面，而且還與所述敏感層電接觸，鄰近所述電阻道的所述導(dǎo)電道被設(shè)置為地電壓，以致在所述電阻道和所述相鄰的導(dǎo)電道之間的所述敏感層中流過的任何電流不干擾在所述導(dǎo)電道之間流過的電流。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳感器，其中所述第一和第二共用電源線路之間施加的電壓至多等于5.7v除以所述電力供應(yīng)點之間存在的段的數(shù)目。