[發明專利]帶電粒子束裝置、帶電粒子束裝置的控制方法

有效

• 申請號: 201480053931.6
• 申請日: 2014-10-07
• 公開（公告）號: CN105593966B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 青木賢治;齋藤勉;細谷幸太郎;中村光宏;重藤訓志
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/28
• 分類號: H01J37/28;H01J37/244
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 范勝杰,文志

1.一種帶電粒子束裝置，對試樣照射帶電粒子束，其特征在于，具備：

帶電粒子束源，其射出帶電粒子束；

試樣移動裝置，其使上述試樣的位置移動；

反射電子檢測器，其具有多個檢測元件，該檢測元件檢測通過對上述試樣照射上述帶電粒子束，從上述試樣產生的反射電子；

信號控制電路，其對使用上述反射電子檢測器所具有的上述檢測元件中的哪個檢測元件進行選擇；

壓力計，其對配置上述試樣的試樣室內的氣壓進行測量；以及

排氣系統，其對上述試樣室內進行真空排氣，

沿同心環配置有多個上述檢測元件，

上述信號控制電路在上述試樣室內的氣壓小于預定氣壓閾值并且沿上述帶電粒子束的照射軸的上述試樣與上述反射電子檢測器之間的距離為預定距離閾值以上的情況下，選擇全部的上述檢測元件，

在上述試樣室內的氣壓小于上述預定氣壓閾值并且上述距離小于上述預定距離閾值的情況下，選擇除了沿最內周側的上述同心環配置的上述檢測元件以外的上述檢測元件中的至少任意一個檢測元件或選擇除了沿最外周側的上述同心環配置的上述檢測元件以外的上述檢測元件中的至少任意一個檢測元件。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述帶電粒子束裝置還具備：

運算裝置，其使用上述反射電子的檢測信號，生成上述試樣的觀察圖像；以及

用戶接口，其用于指示生成組成圖像和凹凸圖像中的哪個圖像，組成圖像強調了上述試樣的原子組成，凹凸圖像強調了上述試樣的凹凸形狀，

上述信號控制電路在經由上述用戶接口輸入了應生成上述組成圖像的指示，上述試樣室內的氣壓小于上述預定氣壓閾值并且上述距離小于上述預定距離閾值的情況下，選擇除了沿最外周側的上述同心環配置的上述檢測元件以外的上述檢測元件中的至少任意一個檢測元件，

在經由上述用戶接口輸入了應生成上述凹凸圖像的指示，上述試樣室內的氣壓小于上述預定氣壓閾值并且上述距離小于上述預定距離閾值的情況下，選擇除了沿最內周側的上述同心環配置的上述檢測元件以外的上述檢測元件中的至少任意一個檢測元件。

3.根據權利要求2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述用戶接口具備輸入部，該輸入部用于指示選擇哪個上述檢測元件，

上述信號控制電路在經由上述用戶接口選擇了上述檢測元件的情況下，按著該指示，選擇上述檢測元件。

4.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

通過沿上述同心環連結多個扇形的上述檢測元件而構成上述檢測元件。

5.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

通過沿上述同心環配置具有朝向上述同心環的中心變細的錐形形狀的上述檢測元件而構成上述檢測元件。

6.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

通過沿上述同心環配置具有從上述同心環的中心朝向外周變細的錐形形狀的上述檢測元件而構成上述檢測元件。

7.一種帶電粒子束裝置，對試樣照射帶電粒子束，其特征在于，具備：

帶電粒子束源，其射出帶電粒子束；

試樣移動裝置，其使上述試樣的位置移動；

反射電子檢測器，其具有多個檢測元件，該檢測元件檢測通過對上述試樣照射上述帶電粒子束，從上述試樣產生的反射電子；

信號控制電路，其對使用上述反射電子檢測器所具有的上述檢測元件中的哪個檢測元件進行選擇；

壓力計，其對配置上述試樣的試樣室內的氣壓進行測量；以及

排氣系統，其對上述試樣室內進行真空排氣，

沿同心環配置有多個上述檢測元件，

上述信號控制電路在上述試樣室內的氣壓為預定氣壓閾值以上的情況下，與沿上述帶電粒子束的照射軸的上述試樣與上述反射電子檢測器之間的距離無關地，選擇全部的上述檢測元件。