[發明專利]耐熱性樹脂膜及其制造方法、加熱爐及圖像顯示裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201480053341.3
• 申請日: 2014-09-22
• 公開（公告）號: CN105579500B
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發明（設計）人: 宮崎大地;富川真佐夫
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社
• 主分類號: C08J5/18
• 分類號: C08J5/18;C08G73/10;C08L79/08;H01L21/027
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍;馬妮楠

1.一種耐熱性樹脂膜，其在氦氣流下于450℃加熱30分鐘期間產生的排出氣為0.01～4μg/cm²，

所述耐熱性樹脂膜是利用包括通過多個階段進行加熱的工序的制造方法而得到的，所述通過多個階段進行加熱的工序至少依次包括：

(A)第1加熱工序，在氧濃度為10體積％以上的氣氛下，以高于200℃的溫度進行加熱；和，

(B)第2加熱工序，在氧濃度為3體積％以下的氣氛下，以比第1加熱工序高的溫度進行加熱。

2.如權利要求1所述的耐熱性樹脂膜，其最大拉伸應力為200MPa以上。

3.如權利要求1或2所述的耐熱性樹脂膜，其中，具有化學式(1)表示的結構，

化學式(1)中，X表示碳原子數2以上的4價的四羧酸殘基，Y表示碳原子數2以上的2價的二胺殘基，m表示正整數。

4.如權利要求1或2所述的耐熱性樹脂膜，其中，所述化學式(1)中的X以化學式(2)或(3)表示的4價的四羧酸殘基為主成分，Y以化學式(4)表示的2價的二胺殘基為主成分，

5.權利要求1～4中任一項所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，所述制造方法包括：

在支承體上涂布含有耐熱性樹脂的前體的溶液的工序；和，

通過多個階段進行加熱的工序，

所述制造方法的特征在于，所述通過多個階段進行加熱的工序至少依次包括：

(A)第1加熱工序，在氧濃度為10體積％以上的氣氛下，以高于200℃的溫度進行加熱；和，

(B)第2加熱工序，在氧濃度為3體積％以下的氣氛下，以比第1加熱工序高的溫度進行加熱。

6.如權利要求5所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，其特征在于，所述第1加熱工序是以420℃以下的溫度進行加熱。

7.如權利要求5或6所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，其中，所述耐熱性樹脂是具有化學式(1)表示的結構的樹脂，

化學式(1)中，X表示碳原子數2以上的4價的四羧酸殘基，Y表示碳原子數2以上的2價的二胺殘基，m表示正整數。

8.如權利要求5或6所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，其中，所述化學式(1)中的X以化學式(2)或(3)表示的4價的四羧酸殘基為主成分，Y以化學式(4)表示的2價的二胺殘基為主成分，

9.如權利要求5或6所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，其特征在于，所述含有耐熱性樹脂的前體的溶液至少含有(a)光產酸劑、(b)具有酚式羥基的化合物及(c)表面活性劑中的任一種。

10.如權利要求5或6所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，其中，使用加熱爐實施所述通過多個階段進行加熱的工序，

所述加熱爐具備：

溫度測定部，測定爐內的溫度；

溫度調節部，調節所述爐內的溫度；

氧濃度測定部，測定所述爐內的氧濃度；

氣體流量調節部，調節加熱氣氛氣體向所述爐內的流量；和

控制部，控制所述溫度調節部及氣體流量調節部，

所述控制部用于：

根據由所述氧濃度測定部測得的所述爐內的氧濃度，控制所述氣體流量調節部，

并控制所述溫度調節部，以使得在所述氧濃度達到所規定的氧濃度后，由所述溫度測定部測得的所述爐內的溫度變為所規定的溫度。

11.如權利要求10所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，其中，所述控制部用于在至少依次包括下述第1加熱工序和下述第2加熱工序的多個階段的加熱工序中控制所述氣體流量調節部及所述溫度調節部，以使得連續地進行所述第1加熱工序和所述第2加熱工序，

第1加熱工序，在第1氧濃度氣氛下以第1溫度進行加熱；

第2加熱工序，在第2氧濃度氣氛下以第2溫度進行加熱。