[發明專利]具有射頻施加器的可旋轉的基板支撐件

有效

• 申請號: 201480053119.3
• 申請日: 2014-09-09
• 公開（公告）號: CN105580128B
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 小林悟;K·H·弗勞德;塙廣二;S·樸;D·盧博米爾斯基;J·A·肯尼
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 黃嵩泉

1.一種基板支撐組件，包括：

軸組件；

底座，所述底座耦接至所述軸組件的一部分；以及

第一旋轉連接器，所述第一旋轉連接器耦接至所述軸組件，其中所述第一旋轉連接器包括可旋轉的射頻施加器，所述可旋轉的射頻施加器包括：

第一線圈構件，所述第一線圈構件圍繞可旋轉的軸，所述可旋轉的軸在操作期間與所述軸組件電磁耦合，所述第一線圈構件在操作期間可與所述可旋轉的軸一起旋轉；

第二線圈構件，所述第二線圈構件圍繞所述第一線圈構件，所述第二線圈構件相對于所述第一線圈構件是固定的，其中所述第一線圈構件在所述可旋轉的射頻施加器被激勵時與所述第二線圈構件電磁耦合并且通過所述軸組件向所述底座提供射頻功率；

第一接地構件，置于所述可旋轉的軸與所述第一線圈構件之間，且將所述第一線圈構件與所述軸組件的可旋轉的部分進行耦合；以及

第二接地構件，將所述第二線圈構件與所述軸組件的固定部進行耦合。

2.如權利要求1所述的基板支撐組件，其特征在于，在操作期間，所述第一接地構件和所述第二接地構件提供兩個分離的RF回程路徑，以建立統一的DC接地參考。

3.如權利要求1所述的基板支撐組件，其特征在于，所述第一線圈構件在所述旋轉的射頻施加器被激勵時與所述第二線圈構件電感耦合。

4.如權利要求1所述的基板支撐組件，其特征在于，可旋轉的軸構件包括介電材料。

5.如權利要求4所述的基板支撐組件，其特征在于，所述可旋轉的軸包括鐵氧體結構。

6.如權利要求1所述的基板支撐組件，其特征在于，進一步包括：

第二旋轉連接器，用于向底座提供冷卻劑。

7.如權利要求6所述的基板支撐組件，其特征在于，進一步包括：

第三旋轉連接器，用于向所述底座傳輸電信號/功率和從所述底座傳輸電信號/功率。

8.如權利要求7所述的基板支撐組件，其特征在于，進一步包括：

第四旋轉連接器，用于向所述底座提供氣體。

9.如權利要求1所述的基板支撐組件，其特征在于，所述軸組件進一步包括：

導電中央軸，所述導電中央軸與所述第一線圈構件電磁耦合。

10.如權利要求9所述的基板支撐組件，其特征在于，所述導電中央軸包括圓形導電板，所述圓形導電板被設置在所述底座中所設置的所述導電中央軸的一端處。

11.如權利要求9所述的基板支撐組件，其特征在于，進一步包括導電外殼，所述導電外殼繞所述可旋轉的射頻施加器設置。

12.如權利要求11所述的基板支撐組件，其特征在于，所述導電外殼包括包含介電材料的狹縫。

13.如權利要求12所述的基板支撐組件，其特征在于，穿過所述導電外殼形成所述狹縫。

14.一種基板支撐組件，包括：

軸組件，具有固定部分和旋轉部分；

底座，所述底座耦接至所述軸組件的中心部分；以及

第一旋轉連接器，所述第一旋轉連接器耦接至所述軸組件，其中所述第一旋轉連接器包括：

可旋轉的線圈構件，所述可旋轉的線圈構件圍繞可旋轉的介電軸，所述可旋轉的介電軸在操作期間與所述軸組件電磁耦合；

固定的線圈構件，所述固定的線圈構件圍繞所述可旋轉的線圈構件，其中所述可旋轉的線圈構件在可旋轉的線圈構件被激勵時與所述固定的線圈構件電磁耦合并通過耦合到所述軸組件的所述中心部分的連接器向所述底座提供射頻功率；以及

導電外殼，所述導電外殼繞所述固定的線圈構件設置。