[發(fā)明專利]用于基于有機(jī)溶劑的雙性光致抗蝕劑的含磺酸酯的聚合物

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480052827.5
• 申請(qǐng)日: 2014-07-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105723281B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: R.阿約蒂;S.A.斯旺森;G.M.沃爾拉夫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司;捷時(shí)雅株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/038
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/038;G03F7/039;G03F7/32
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 肖靖泉

1.一種方法，其包括：

制備包括有機(jī)溶劑能顯影的光致抗蝕劑聚合物的雙性化學(xué)增幅光致抗蝕劑組合物，其中所述光致抗蝕劑聚合物包括：

(i)由聚(4-羥基苯乙烯-共-甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯-共-2-羥基蒎基-3-(4-苯乙烯磺酸酯)表示的基于聚(羥基苯乙烯)的聚合物，并且酸不穩(wěn)定的磺酸酯部分以5-10重量％的范圍存在于所述基于聚(羥基苯乙烯)的光致抗蝕劑聚合物中；

(ii)由聚(5-丙烯酰氧基-2,6-降莰烷內(nèi)酯-共-甲基丙烯酸2-乙基-2-環(huán)戊基酯-共-2-羥基蒎基-3-(4-苯乙烯磺酸酯)或聚(甲基丙烯酸2-[1',1',1'-三氟-2'-(三氟甲基)-2'-羥基)丙基-3-降冰片基酯-共-甲基丙烯酸2-乙基-2-環(huán)戊基酯-共-5-丙烯酰氧基-2,6-降莰烷內(nèi)酯-共-2-羥基蒎基-3-(4-苯乙烯磺酸酯)表示的基于內(nèi)酯的聚合物，并且酸不穩(wěn)定的磺酸酯部分以5-31重量％的范圍存在于所述基于內(nèi)酯的光致抗蝕劑聚合物中；或者

(iii)由聚(甲基丙烯酸2-[1',1',1'-三氟-2'-(三氟甲基)-2'-羥基)丙基-3-降冰片基酯-共-甲基丙烯酸2-乙基-2-環(huán)戊基酯-共-2-羥基蒎基-3-(4-苯乙烯磺酸酯)表示的不含內(nèi)酯的光致抗蝕劑聚合物，并且酸不穩(wěn)定的磺酸酯部分以5-31重量％的范圍存在于所述不含內(nèi)酯的光致抗蝕劑聚合物中。

2.權(quán)利要求1的方法，其中使用有機(jī)溶劑將化學(xué)增幅光致抗蝕劑顯影以在光致抗蝕劑膜中產(chǎn)生正性或負(fù)性圖像。

3.權(quán)利要求1的方法，其中將所述光致抗蝕劑聚合物與不含酸不穩(wěn)定的磺酸酯部分的另外的聚合物共混，其中經(jīng)共混的聚合物組合提升光致抗蝕劑的溶解反差。

4.權(quán)利要求2的方法，其中有機(jī)溶劑包括基于多元醇的正性顯影溶劑。

5.權(quán)利要求4的方法，其中使用基于多元醇的正性顯影溶劑將化學(xué)增幅光致抗蝕劑顯影以在抗蝕劑膜中產(chǎn)生正性圖像。

6.權(quán)利要求4的方法，其中基于多元醇的正性顯影溶劑是乙二醇。

7.權(quán)利要求4的方法，其中將基于多元醇的正性顯影溶劑與異丙醇組合。

8.權(quán)利要求2的方法，其中有機(jī)溶劑是基于乙酸酯或基于酮的負(fù)性顯影溶劑。

9.權(quán)利要求8的方法，其中使用基于乙酸酯或基于酮的負(fù)性顯影溶劑將化學(xué)增幅抗蝕劑顯影以在抗蝕劑膜中產(chǎn)生負(fù)性圖像。

10.權(quán)利要求9的方法，其中所述負(fù)性顯影溶劑選自甲基戊基酮、乙酸正丁酯、乙酸正戊酯、和乙基戊基酮、及其組合。