[發(fā)明專(zhuān)利]物品的支承裝置以及向支承裝置載置兩種物品的載置方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480052704.1
• 申請(qǐng)日: 2014-07-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105683064A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小合玄己;伊藤靖久
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 村田機(jī)械株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B65G1/14
• 分類(lèi)號(hào): B65G1/14;B65G1/00;H01L21/673
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;田軍鋒

1.一種物品的支承裝置，其是載置多種物品的支承裝置，

其特征在于，具備：

載置面，其能夠一并載置第一物品、以及底部比所述第一物品大的 第二物品；

第一定位部件，其從所述載置面突出，對(duì)所述第一物品的底部進(jìn)行 定位；以及

第二定位部件，其從所述載置面突出，對(duì)所述第二物品進(jìn)行定位，

所述第一定位部件配置于在利用所述第二定位部件將所述第二物 品定位于載置面上時(shí)不與所述第二物品發(fā)生干涉的位置，

所述第二定位部件配置于在利用所述第一定位部件將所述第一物 品定位于載置面上時(shí)不與所述第一物品發(fā)生干涉的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物品的支承裝置，其特征在于，

所述第一定位部件為從載置面突出的至少一對(duì)銷(xiāo)，且與所述第一物 品的底部的孔卡合，并且進(jìn)入所述第二物品的底部的凹部?jī)?nèi)而不與第二 物品接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物品的支承裝置，其特征在于，

所述第二定位部件為從載置面突出的至少一對(duì)引導(dǎo)部件，且構(gòu)成為 引導(dǎo)所述第二物品的底部的外周。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物品的支承裝置，其特征在于，

所述第一定位部件為從載置面突出的至少一對(duì)銷(xiāo)，且與所述第一物 品的底部的孔卡合，并且進(jìn)入呈放射狀設(shè)置于所述第二物品的底部的定 位用的槽內(nèi)而不與第二物品接觸。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的物品的支承裝置，其特征在于，

所述一對(duì)引導(dǎo)部件構(gòu)成為分別具備傾斜方向不同的一對(duì)錐形面，并 且利用一對(duì)錐形面來(lái)引導(dǎo)所述第二物品的底部外周的角部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物品的支承裝置，其特征在于，

所述第一物品與所述第二物品均為收納半導(dǎo)體晶圓的容器，與所述 第一物品相比，所述第二物品收納直徑更大的半導(dǎo)體晶圓。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的物品的支承裝置，其特征在于，

所述第一物品在底部呈放射狀地具備定位用的槽，

構(gòu)成為以既不與所述第一物品的定位用的槽接觸也不與所述第二 物品的定位用的槽接觸的方式，定位所述第一物品的底面和所述第二物 品的底面。

8.一種向支承裝置載置兩種物品的載置方法，其是在支承裝置上 載置多種物品的方法，

其特征在于，

所述支承裝置具備：載置面，其能夠一并載置第一物品、以及底部 比所述第一物品大的第二物品；以及第一定位部件與第二定位部件，它 們均從所述載置面突出，

進(jìn)行避免第二定位部件與第一物品發(fā)生干涉同時(shí)利用第一定位部 件定位第一物品而將第一物品載置于載置面上的步驟、以及避免第一定 位部件與第二物品發(fā)生干涉同時(shí)利用第二定位部件定位第二物品而將 第二物品載置于載置面上的步驟。