[發(fā)明專利]用于支撐研磨盤的襯墊在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201480052674.4 | 申請日: | 2014-10-01 |
| 公開(公告)號: | CN105579193A | 公開(公告)日: | 2016-05-11 |
| 發(fā)明(設計)人: | 佐藤津紀夫 | 申請(專利權)人: | 3M創(chuàng)新有限公司 |
| 主分類號: | B24B23/02 | 分類號: | B24B23/02 |
| 代理公司: | 北京天昊聯(lián)合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人: | 顧紅霞;彭會 |
| 地址: | 美國明*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 支撐 研磨 襯墊 | ||
1.一種襯墊,所述襯墊通過與研磨盤一起附連到研磨機的軸上而支撐 所述研磨盤,所述襯墊包括:
與所述研磨盤相面對的支撐表面;
與所述支撐表面相背對的背部表面;和
多個空氣通道,所述空氣通道沿所述支撐表面的圓周方向以預 定間距形成,
每個所述空氣通道的至少一部分從所述支撐表面貫穿至所述背 部表面,并且
每個所述空氣通道被形成至所述支撐表面的周邊部分。
2.根據(jù)權利要求1所述的襯墊,其中每個所述空氣通道被形成為螺旋 狀。
3.根據(jù)權利要求1所述的襯墊,其中每個所述空氣通道被形成為大致 輻射狀。
4.根據(jù)權利要求1至3中任一項所述的襯墊,其中每個所述空氣通道 被形成為在旋轉方向上凸起的弧狀。
5.根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的襯墊,其中每個所述空氣通道的 寬度從所述支撐表面的中心部分朝向所述周邊部分變寬。
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