[發明專利]帶電粒子束裝置以及帶電粒子束裝置用樣本保持裝置

有效

• 申請號: 201480052535.1
• 申請日: 2014-09-05
• 公開（公告）號: CN105612597B
• 公開（公告）日: 2017-07-07
• 發明（設計）人: 矢口紀惠;長久保康平;巖堀敏行
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/16
• 分類號: H01J37/16;H01J37/20
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 范勝杰,王立杰

1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具備：

帶電粒子源，其釋放一次帶電粒子束；

帶電粒子控制單元，其使從上述帶電粒子源釋放的帶電粒子束會聚，照射到樣本；

檢測器，其檢測從樣本產生的電子；

控制單元，其根據來自上述檢測器的信號制作樣本像；

顯示單元，其顯示上述樣本像；

記錄顯示的上述樣本像的單元；

樣本保持單元，其保持上述樣本；以及

可裝卸的逆側入口部，其能夠從與上述樣本保持單元相對的一側裝卸，具備使安裝在上述樣本保持單元的樣本的狀態改變的功能；其中，

關于設置在上述可裝卸的逆側入口部的使樣本的狀態改變的功能，是具有用于向樣本施加電壓的2對以上的電極端子，并在與樣本保持單元組合時，用金屬布線連接到樣本保持單元的固定微小樣本的部分或配置在其近旁的微小樣本，且上述電極端子與電子顯微鏡外部的電壓施加電源連接，從而能夠向微小樣本施加電壓。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

在上述可裝卸的逆側入口部設置氣體導入機構。

3.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述可裝卸的逆側入口部具有圍住樣本保持單元的周圍，能夠遮斷樣本室和樣本之間的氣氛，且能夠進行真空排氣的樣本氣氛遮斷功能。

4.根據權利要求3所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

在上述可裝卸的逆側入口部具有輕元素薄膜的隔膜，在與樣本保持單元組合時將隔膜配置在帶電粒子束軸上，由此在帶電粒子束裝置內形成與真空不同的氣體壓力空間，能夠現場觀察和分析該氣體壓力下的樣本變化的過程。

5.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

在上述可裝卸的逆側入口部設置小型真空計。

6.根據權利要求5所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

在可裝卸的逆側入口部設置溫濕度傳感器。

7.根據權利要求1或2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

在上述可裝卸的逆側入口部的內側設置相對的電極板，電極的一方經由高頻產生裝置與控制部連接，設置另一方的電極，將樣本保持裝置的樣本部分配置在電極之間，由此能夠在電極間產生等離子體，清洗樣本和樣本保持裝置前端部分。

8.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

上述可裝卸的逆側入口部具備用于施加應力的應力施加功能。

9.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

在可裝卸的逆側入口部具備以與安裝在樣本保持裝置的樣本臺上的微小齒輪咬合的方式配置的齒輪，能夠使樣本臺旋轉。

10.根據權利要求3所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

在帶電粒子束裝置樣本室內，能夠將逆側入口部劃分為2部分，將逆側入口部前端部以可裝卸的方式安裝在樣本保持裝置側，由此能夠在遮斷氣氛的狀態下在帶電粒子束裝置之間輸送。

11.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

在上述可裝卸的逆側入口部具備用于冷卻樣本保持裝置前端部的機構，通過對樣本保持裝置和樣本裝載部進行熱絕緣，能夠高效地冷卻樣本部分，縮短樣本冷卻時間。