[發(fā)明專利]感光性遮光糊劑和接觸式傳感器用層疊圖案的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480052061.0
• 申請(qǐng)日: 2014-09-18
• 公開（公告）號(hào): CN105531626B
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田邊美晴;草野一孝;田中明彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東麗株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/004
• 分類號(hào): G03F7/004;G03F7/038;G03F7/095;G06F3/041;G06F3/044;H01L21/027
• 代理公司: 72001 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 趙瑩;劉力

1.接觸式傳感器用層疊圖案的制造方法，其具備如下工序：

將含有顏料、感光性有機(jī)化合物和熱固化性化合物的感光性遮光糊劑涂布在基板上，從而得到遮光涂布膜的第一涂布工序；

將含有導(dǎo)電性粉末、感光性有機(jī)化合物和熱固化性化合物的感光性導(dǎo)電糊劑涂布在所述遮光涂布膜上，從而得到導(dǎo)電涂布膜的第二涂布工序；以及，

對(duì)所述遮光涂布膜和所述導(dǎo)電涂布膜一并進(jìn)行曝光和顯影，進(jìn)而以100~300℃加熱或照射氙閃光燈的光，從而得到包含遮光層和導(dǎo)電層的層疊圖案的層疊圖案形成工序，

其中，所述層疊圖案的線寬為2~9μm。

2.接觸式傳感器，其具備通過(guò)權(quán)利要求1所述的制造方法得到的接觸式傳感器用層疊圖案。

3.觸控面板，其具備權(quán)利要求2所述的接觸式傳感器。