[發(fā)明專利]使用側壁橫梁制造技術的微機械柔性設計

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480052007.6
• 申請日: 2014-09-05
• 公開（公告）號: CN105579882A
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發(fā)明（設計）人: T·杜恩;M·安德森;A·W·斯帕克斯;J·吳;中川英樹
• 申請（專利權）人: 皮克斯特隆尼斯有限公司
• 主分類號: G02B26/02
• 分類號: G02B26/02;G02B26/08;B81C1/00;G02F1/01;H02N1/00;G02B26/04;B81B3/00;H01H3/60;B81B5/00;B81B7/00
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 林斯凱

1.一種機電裝置，其包括：

微機電系統(tǒng)MEMS撓曲部(400)，其具有：第一橫梁(412)；及實質上平行于所述 第一橫梁(412)定位的第二橫梁(418)，所述第一橫梁(412)和第二橫梁(418)在第一方 向上延伸；以及位于所述第一橫梁(412)的第一末端且將所述第一橫梁(412)耦接至 所述第二橫梁(418)的鉸鏈(402)，所述鉸鏈(402)具有：

在第二方向上延伸且橫向于所述第一及第二橫梁的第一鉸鏈橫梁(414)；以及

在第一方向上耦接至第一鉸鏈橫梁(412)的加強部分(404)，所述加強部分 (404)包含在實質上平行于第一平面的平面中延伸的二維表面。

2.根據(jù)權利要求1所述的機電裝置，其中所述加強部分的橫截面為可變的。

3.根據(jù)權利要求2所述的機電裝置，其中所述加強部分在z方向上凹進。

4.根據(jù)權利要求1所述的機電裝置，其中所述加強部分的塊狀物通過z方向變化。

5.根據(jù)權利要求1所述的機電裝置，其中所述第一橫梁耦接至錨，且其中所述錨附接 至襯底。

6.根據(jù)權利要求1所述的機電裝置，其中所述第二橫梁耦接至光調制器。

7.根據(jù)權利要求1所述的機電裝置，其中所述鉸鏈進一步包含耦接至所述加強部分的 四段部分。

8.根據(jù)權利要求1所述的機電裝置，其進一步包括將所述第二橫梁耦接至第三橫梁的 第二鉸鏈。

9.根據(jù)權利要求1所述的機電裝置，其中所述第一方向對應于x方向，所述第二方向 對應于y方向，且所述第一平面對應于xy平面。

10.一種機電裝置，其包括：

錨(702)，其耦接至襯底；

第一橫梁(706)，其在第一方向上延伸且耦接至所述錨(702)；

第二橫梁(710)，其在第二方向上延伸且耦接至第一橫梁(706)；以及

第三橫梁(726)，其在所述第一方向上延伸且在所述第二橫梁(710)與光調制器 (716)之間耦接，其中所述第一橫梁(706)、所述第二橫梁(710)和所述第三橫梁(726) 中的至少一者耦接至加強部分(724)。

11.根據(jù)權利要求10所述的機電裝置，其中所述加強部分的橫截面為可變的。

12.根據(jù)權利要求11所述的機電裝置，其中所述加強部分在z方向上凹進。

13.根據(jù)權利要求12所述的機電裝置，其中所述加強部分的塊狀物通過z方向變化。

14.根據(jù)權利要求10所述的機電裝置，其中所述加強部分耦接至所述錨。

15.根據(jù)權利要求10所述的機電裝置，其中所述加強部分耦接至所述光調制器。

16.根據(jù)權利要求10所述的機電裝置，其中所述光調制器在所述第一方向上且實質上 平行于所述襯底移動。

17.一種機電裝置，其包括：

錨裝置，其耦接至襯底裝置；

第一橫梁裝置，其在第一方向上延伸且耦接至所述錨裝置；

第二橫梁裝置，其在第二方向上延伸且耦接至所述第一橫梁裝置；以及

第三橫梁裝置，其在所述第一方向上延伸且在所述第二橫梁裝置與光調制器裝置 之間耦接，其中所述第一橫梁裝置、所述第二橫梁裝置和所述第三橫梁裝置中的至 少一者耦接至加強裝置。

18.根據(jù)權利要求17所述的機電裝置，其中所述加強裝置的橫截面為可變的。

19.根據(jù)權利要求18所述的機電裝置，其中所述加強裝置在z方向上凹進。

20.根據(jù)權利要求19所述的機電裝置，其中所述加強裝置的塊狀物通過z方向變化。