[發明專利]具有改進的正交補償的陀螺儀結構和陀螺儀

有效

• 申請號: 201480050415.8
• 申請日: 2014-09-10
• 公開（公告）號: CN105556242B
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 馬庫斯·林基奧;安斯·布盧姆奎斯特;亞科·羅希奧
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01C19/5712
• 分類號: G01C19/5712;G01C19/5755;G01C19/5776
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 朱勝;陳煒

1.一種微機電陀螺儀結構，包括：

震動質量塊；

本體元件；

彈簧結構件，使所述震動質量塊懸掛于所述本體元件以允許主振蕩和副振蕩，在所述主振蕩中，所述震動質量塊的至少一部分被激勵以在第一方向上振蕩，在所述副振蕩中，所述震動質量塊的至少一部分在與所述第一方向垂直的第二方向上移動，并且所述震動質量塊包括沿所述第二方向并且沿第三方向以平面的方式延伸的表面平面，其中，所述第三方向與所述第一方向和所述第二方向垂直；

第一導體，被布置成與所述震動質量塊一起移動，所述第一導體包括在所述震動質量塊上沿所述第一方向和所述第三方向延伸的第一表面；

第二導體，附接至所述本體元件，并且包括沿所述第一方向和所述第三方向延伸且與所述第一表面相鄰的第二表面；

電壓元件，被布置成在所述第一表面與所述第二表面之間產生電勢差，由此在所述第二方向上引發靜電力，所述靜電力是通過所述震動質量塊的所述主振蕩來調制的。

2.根據權利要求1所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，

所述第一表面沿所述第一方向以平面的方式延伸至第一高度；

所述第二表面沿所述第一方向以平面的方式延伸至第二高度；

所述第一高度與所述第二高度彼此不同。

3.根據權利要求1所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，所述電壓元件包括連接至所述第二導體的直流偏壓源。

4.根據權利要求2所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，所述電壓元件包括連接至所述第二導體的直流偏壓源。

5.根據權利要求1至4中的任一項所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，

所述彈簧結構被配置成允許所述震動質量塊沿所述第一方向的所述主振蕩的最大振幅；

所述第一高度與所述第二高度之間的差等于或大于所述最大振幅。

6.根據權利要求1至4中的任一項所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，所述第二表面高于所述第一表面。

7.根據權利要求1至4中的任一項所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，所述第一表面高于所述第二表面。

8.根據權利要求1至4中的任一項所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，所述主振蕩是所述震動質量塊繞與所述表面平面平行的軸的旋轉振蕩。

9.根據權利要求1至4中的任一項所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，所述主振蕩是所述震動質量塊離開本體部且朝向所述本體部的線性振蕩。

10.根據權利要求1至4中的任一項所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，所述主振蕩是所述震動質量塊在兩個平行軸之間的屈曲振蕩。

11.根據權利要求1至4中的任一項所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，

所述表面平面沿所述第二方向并且沿所述第三方向直線地延伸；

所述震動質量塊包括沿所述第一方向并且沿所述第三方向以平面的方式延伸的兩個第一側平面；

所述震動質量塊包括沿所述第一方向并且沿所述第二方向以平面的方式延伸的兩個第二側平面；

所述主振蕩是所述震動質量塊繞與所述第二側平面平行并且將所述震動質量塊劃分為兩個部分的旋轉軸的旋轉振蕩；

所述第二導體與所述第一側平面相鄰，并且從所述第二導體至所述旋轉軸的距離大于所述第二導體至所述震動質量塊的相同部分中的所述第一側平面的距離。

12.根據權利要求1至4中的任一項所述的微機電陀螺儀結構，其特征在于，所述第二導體包括至少一個長形梁，所述第二導體的長形梁的表面與所述震動質量塊中的所述第一導體的所述第一表面對準。