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[發明專利]用于為共聚焦顯微鏡生成隨時間推移而變化的圖案的光學系統有效

專利信息
申請號: 201480050305.1 申請日: 2014-09-11
公開(公告)號: CN105518507B 公開(公告)日: 2018-11-13
發明(設計)人: M.伯納 申請(專利權)人: 西諾德牙科設備有限公司
主分類號: G02B21/00 分類號: G02B21/00;A61C9/00;G01B11/25;G02B21/36
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 吳晟;劉春元
地址: 德國本*** 國省代碼: 德國;DE
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 聚焦 顯微鏡 生成 隨時 推移 變化 圖案 光學系統
【權利要求書】:

1.一種用于為共聚焦顯微鏡生成隨時間推移而變化的圖案的光學系統,所述光學系統包括光源裝置(1、12a、12b、12c)、分束器(3)以及所述分束器(3)與對象(7)之間的透鏡裝置(4a、4b),其中光束從所述光源裝置(1、12a、12b、12c)傳播到反射所述光束以產生反射光束的對象(7),所述分束器使從所述光源裝置(1、12a、12b、12c)發出的所述光束朝所述對象(7)方向通過并且將由焦平面中的所述對象(7)反射的所述光束朝檢測器(8)方向偏轉,所述檢測器具有用于檢測所述對象(7)圖像的檢測器圖案,所述光學系統的特征在于:所述光源裝置(1、12a、12b、12c)具有用于產生所述光束的唯一光源(1)和用于切換光源偏振方向的裝置(12a、12b、12c),所述用于切換光源偏振方向的裝置切換由所述光源(1)所發出的所述光束的偏振方向,從而無需移動具有投影儀圖案(2)的掩模即可生成變化的投影儀圖案(2)。

2.根據權利要求1所述的光學系統,其特征在于,所述用于切換光源偏振方向的裝置被固定在下游并且為可控光學延遲片(12a、12b)。

3.根據權利要求2所述的光學系統,其特征在于,所述可控光學延遲片為根據施加到電端子(14)上的電壓,使偏振方向從入口(15)到出口(16)發生旋轉的普克爾斯盒(12a),所述電壓以延遲變化λ/2或其奇數倍的方式在兩個電壓V1和V2之間切換。

4.根據權利要求2所述的光學系統,其特征在于,所述可控光學延遲片為固定旋轉的λ/4延遲片(12b)。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的光學系統,其特征在于,所述相應光源(1、1a、1b)為發出自然偏振光的激光二極管,或者帶有下游偏振片的LED。

6.根據權利要求1-4中任一項所述的光學系統,其特征在于,所述投影儀圖案為可根據需要控制的圖案、固定線狀圖案或固定棋盤狀圖案。

7.根據權利要求1-4中任一項所述的光學系統,其特征在于,提供了用于對齊所述投影儀圖案和檢測器圖案的裝置。

8.根據權利要求1-4中任一項所述的光學系統,其特征在于,提供了生成所述投影儀圖案的透明LCD。

9.根據權利要求1-4中任一項所述的光學系統,其特征在于,提供了一種濾波器作為用于評估接收信號的裝置,所述濾波器的切換頻率與所述光源偏振方向的切換頻率同步。

10.根據權利要求9所述的光學系統,其特征在于,所述濾波器實現為鎖相放大器。

11.一種使用根據權利要求1-10中任一項所述的光學系統來掃描對象表面的方法,所述方法包括以下步驟:

-對齊所述投影儀圖案和所述檢測器圖案,

-在所述投影儀圖案以高切換頻率(f1)變化的過程中,調整所述焦平面,

-接收頻率對應于所述切換頻率的信號,

-對所述接收信號進行窄帶濾波,并且在所述窄帶濾波之后搜索所述信號的最大強度,以及

-搜索恒定寬度的信號峰。

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