[發明專利]激光掃描裝置

有效

• 申請號: 201480048855.X
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN105518512B
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發明（設計）人: 的崎俊哉;中原宏勛;岸上智;竹下伸夫
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,馬建軍

技術領域

本發明涉及使用多個激光光源的激光掃描裝置。

背景技術

以往，作為使用多個激光光源的激光掃描裝置有如下的激光掃描裝置：使用紅色激光器、綠色激光器和藍色激光器這3種激光光源，將它們會聚成一個光軸，通過MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微機電系統)鏡進行掃描。該情況下，使用會聚透鏡或準直透鏡將從各個激光光源射出的激光轉換成比平行稍窄的光后，使各個激光通過孔徑(aperture)(也稱作開口限制裝置)，由此使各個激光成為規定的形狀和尺寸，使用鏡或棱鏡轉換到一個會聚光軸方向，由此利用一個MEMS鏡進行掃描(例如參照專利文獻1)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-107615號公報(第5～10頁、第1圖)

發明內容

發明要解決的課題

但是，在專利文獻1這樣的激光掃描裝置中，是針對各個激光光源設置孔徑，以使在從各個激光光源射出的激光會聚到一個會聚光軸方向時，各個激光成為規定的形狀和尺寸，但是，在這種結構中，在激光掃描裝置的制造過程中，在按照各個光源將準直透鏡和激光光源調整成一個單元后，在整體組裝時需要再次進行位置調整，存在激光掃描裝置的制造過程中的調整項目增多這樣的問題。

本發明正是為了解決上述這種課題而完成的，在使用多個激光光源的激光掃描裝置中，得到結構簡單且可實現制造過程中的調整項目的削減的激光掃描裝置。

用于解決課題的手段

在本發明的光掃描裝置中，其特征在于，該光掃描裝置具有：多個激光光源，其射出光強度分布為橢圓形狀的激光；棱鏡，其具有反射面，將從各個所述激光光源入射的所述激光轉換到集束光軸方向；孔徑，其被設置成能夠在規定的調整方向調整使從所述棱鏡出射的所述激光通過的開口位置的狀態；以及掃描鏡，其將經由所述孔徑入射的來自所述棱鏡的所述激光反射到掃描位置，所述多個激光光源以如下的朝向進行設置：各自射出的所述激光入射到所述孔徑的位置處的光強度分布的長軸方向成為所述規定的調整方向。

發明效果

在本發明中，在從棱鏡到掃描鏡的光路上設置孔徑，使得能夠在規定的調整方向調整從所述棱鏡出射的各個激光通過孔徑的光束，由此，不用按照各個激光光源設置孔徑，能夠利用一個孔徑構成。由此，能夠實現結構簡單且可削減制造過程中的調整項目的激光掃描裝置。

附圖說明

圖1是本發明的實施方式1的激光掃描裝置的橫剖視圖。

圖2是本發明的實施方式1的激光掃描裝置的縱剖視圖。

圖3是示出本發明的實施方式1的激光掃描裝置的組裝調整流程的圖。

圖4的(A)～(D)是示出本發明的實施方式1的激光掃描裝置的調整階段中的調整目標以及來自激光光源的光強度分布和透過孔徑后的光束的位置關系的圖。

圖5是示出現有的激光掃描裝置的組裝調整流程的圖。

具體實施方式

實施方式1

圖1是本實施方式的激光掃描裝置的橫剖視圖。在圖1中設置有3個激光光源101、102、103。并且，設置有將從激光光源102射出的激光轉換到集束光軸方向的棱鏡301、以及將從激光光源103射出的激光轉換到集束光軸方向的棱鏡302。這里，在圖1中，示出集束光軸L取與X軸平行的軸。圖2是以X-Z面切斷本實施方式的激光掃描裝置時的縱剖視圖。

在圖1中，激光光源101被設置成向集束光軸方向射出激光的朝向，因此，不需要利用棱鏡的反射面轉換到集束光軸方向。并且，在從棱鏡302到雙軸偏振鏡500的光路上以能夠進行位置調整的狀態設置有孔徑53。

接著，對各結構要素進行說明。框體10是本實施方式的激光掃描裝置的框體。

第1激光光源101射出第1激光。第1激光光源101例如是紅色半導體激光器，第1激光是紅色波長的激光。這里，在圖1中，設置成朝向-X方向射出。并且，設置成光強度分布特性的放射角度規格較寬的方向(長軸方向)朝向Z軸方向(與圖1的紙面垂直的方向)。

第1激光光源101由光源調整板21支承，使得能夠調整射出的光軸。例如，第1激光光源101通過壓入或粘接而固定于光源調整板21，光源調整板21與框體10的側面緊密貼合，在被精密調整到緊密貼合面內方向后，通過螺釘固定或粘接進行固定。