[發明專利]帶電粒子束裝置以及試樣圖像取得方法

有效

• 申請號: 201480048806.6
• 申請日: 2014-03-10
• 公開（公告）號: CN105518821B
• 公開（公告）日: 2017-06-23
• 發明（設計）人: 大南佑介;西村雅子;河西晉佐;鈴木宏征
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/28
• 分類號: H01J37/28;H01J37/16;H01J37/18;H01J37/20
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 范勝杰,文志

1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具備：

帶電粒子光學鏡筒，其在試樣上照射初級帶電粒子束；

殼體，其形成該帶電粒子束裝置的一部分，內部通過真空泵進行真空排氣；

隔膜，其能夠維持上述真空排氣的空間與配置上述試樣的空間的差壓，并且使上述初級帶電粒子束透射或通過；

檢測器，其檢測通過向上述試樣照射上述初級帶電粒子束而得到的次級帶電粒子；

距離調整機構，其使上述試樣與上述隔膜的距離可變；

控制部，其基于從上述檢測器輸出的檢測信號或根據該檢測信號生成的圖像，監視上述試樣與上述隔膜的距離；以及

照射能量控制部，其使上述初級帶電粒子束向上述試樣的照射能量可變為至少兩個以上的條件，

控制部根據以第一照射能量照射了上述初級帶電粒子束時的檢測信號的亮度信息或分辨率信息或根據該檢測信號生成的圖像的亮度或分辨率，檢測上述試樣與上述隔膜的距離成為能夠識別試樣圖像的距離或比能夠識別試樣圖像的距離近，

控制部在檢測到上述試樣與上述隔膜的距離成為能夠識別試樣圖像的距離或比能夠識別試樣圖像的距離近之后，根據通過上述照射能量控制部以第二照射能量照射上述初級帶電粒子束而從上述試樣得到的檢測信號取得上述試樣的圖像，上述第二照射能量比上述第一照射能量高。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

具備閾值設定部，其設定從上述檢測器輸出的檢測信號的亮度信息或分辨率信息或根據該檢測信號生成的圖像的亮度信息或分辨率信息的閾值，

控制部監視從上述檢測器輸出的檢測信號的亮度信息或分辨率信息或根據該檢測信號生成的圖像的亮度信息或分辨率信息是否達到由上述閾值設定部設定的上述閾值，

通過上述距離調整機構，直到達到上述閾值為止使上述試樣與上述隔膜的距離接近。

3.一種試樣圖像取得方法，其使用了帶電粒子束裝置，該帶電粒子束裝置具有：帶電粒子光學鏡筒，其在試樣上照射初級帶電粒子束；殼體，其形成該帶電粒子束裝置的一部分，內部通過真空泵進行真空排氣；隔膜，其能夠維持上述真空排氣的空間與配置上述試樣的空間的差壓，并且使上述初級帶電粒子束透射或通過；檢測器，其檢測通過向上述試樣照射上述初級帶電粒子束而得到的次級帶電粒子，該試樣圖像取得方法的特征在于，

具有以下步驟：基于從上述檢測器輸出的檢測信號或根據該檢測信號生成的圖像，監視上述試樣與上述隔膜的距離，

通過檢測或識別以第一照射能量照射上述初級帶電粒子束時的檢測信號的亮度信息或分辨率信息或根據該檢測信號生成的圖像的亮度或分辨率，由此檢測或識別上述試樣與上述隔膜的距離成為能夠識別試樣圖像的距離或比能夠識別試樣圖像的距離近，

并且還具有以下步驟：在檢測或識別出上述試樣與上述隔膜的距離成為能夠識別試樣圖像的距離或比能夠識別試樣圖像的距離近之后，根據以第二照射能量照射上述初級帶電粒子束時的檢測信號取得上述試樣的圖像，上述第二照射能量比上述第一照射能量高。

4.根據權利要求3所述的試樣圖像取得方法，其特征在于，

具有以下步驟：

決定從上述檢測器輸出的檢測信號的亮度信息或分辨率信息或根據該檢測信號生成的圖像的亮度信息或分辨率信息的閾值；

監視從上述檢測器輸出的檢測信號的亮度信息或分辨率信息或根據該檢測信號生成的圖像的亮度信息或分辨率信息是否達到上述閾值；

直到達到上述閾值為止使上述試樣與上述隔膜的距離接近。