[發明專利]槽模涂布方法及設備

在審

• 申請號: 201480047803.0
• 申請日: 2014-07-28
• 公開（公告）號: CN105555416A
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 伊凱·格克·德·弗里斯;馬爾滕·范·蘭特;耶羅·安東紐斯·斯梅爾廷克
• 申請（專利權）人: 荷蘭應用自然科學研究組織TNO
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05B13/04
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 周艷玲;王琦

1.一種用于在基底(1)上制造帶圖案的涂層(3)的槽模涂布設備，該設備包括：

布置在支架上的基底載體(6)，該基底載體(6)被布置為用于提供包括基底表面(1s)的所述基底(1)；

涂布裝置，該涂布裝置包括能夠通過至少一個電動機相對于彼此相互移動的至少一個頭側單元(50)和至少一個支撐側單元(55，55A)，所述頭側單元包括所述至少一個電動機的平移器部件(52，52A)和槽模涂布頭(2)，所述槽模涂布頭(2)包括出流孔口(2a)，涂布流體(3f)從所述出流孔口(2a)流出，其中所述出流孔口(2a)形成狹縫，所述狹縫在使用中沿狹縫方向(y)布置在所述基底表面(1s)的上方，所述至少一個支撐側單元(55，55A)包括所述至少一個電動機的定子部件(56，56A)；

傳感器裝置(70)，該傳感器裝置(70)用于沿著橫向于所述狹縫方向(y)的平移方向(x)測量所述出流孔口(2a)和所述基底載體的表面或基底表面之間的距離(D)，并用于提供表示所述距離(D)的測量值的感測信號(Dm)；

控制器(80)，該控制器(80)用于根據表示所述距離的期望值的輸入信號控制所述至少一個電動機，以將所述槽模涂布頭定位在具有所述期望值的距離處，

其中所述至少一個支撐側單元(55，55A)具有至少等于所述至少一個頭側單元(50)的質量的質量，并且所述至少一個支撐側單元(55，55A)被柔性地聯接到所述支架(60)。

2.根據權利要求1所述的用于在基底(1)上制造帶圖案的涂層(3)的槽模涂布設備，其中所述平移方向(x)被布置在水平面中。

3.根據權利要求1所述的用于在基底(1)上制造帶圖案的涂層(3)的槽模涂布設備，包括至少另一個支撐側單元(55B)，所述至少另一個支撐側單元(55B)包括第二電動機的定子部件(56B)，所述至少一個支撐側單元(55A)和所述至少另一個支撐側單元(55B)一起具有至少等于所述至少一個頭側單元(50)的質量的質量，并且所述至少另一個支撐側單元被柔性地聯接到所述支架，所述頭側單元(50)進一步包括所述第二電動機的平移器部件(52B)和中央段(54)，所述涂布頭(2)在第一端安裝到所述中央段(54)，并且所述至少一個電動機和第二電動機的所述平移器部件(52A，52B)在各自一側被布置到所述中央段(54)。

4.根據權利要求3所述的用于在基底(1)上制造帶圖案的涂層(3)的槽模涂布設備，其中所述至少一個支撐側單元(55A)和所述至少另一個支撐側單元(55B)中每一個的所述柔性聯接部包括布置在橫向于所述平移方向的平面中的各自的第一片簧(58A1，58B1)和第二片簧(58A2，58B2)，所述至少一個支撐側單元和所述至少另一個支撐側單元通過其各自的第一片簧和第二片簧在各自的端部被聯接到所述支架。

5.根據權利要求4所述的用于在基底(1)上制造帶圖案的涂層(3)的槽模涂布設備，其中所述至少一個支撐側單元和所述至少另一個支撐側單元均設置有阻尼板(59A1)，該阻尼板(59A1)滑動地布置在安裝于所述支架(60)上的軌道(64A1)中。

6.根據權利要求3所述的用于在基底(1)上制造帶圖案的涂層(3)的槽模涂布設備，其中所述中央段(54)在其第一端通過一個或多個片簧(53A，53B)聯接到布置在橫向于所述平移方向(x)的平面中的所述支架(60)。

7.根據權利要求6所述的用于在基底(1)上制造帶圖案的涂層(3)的槽模涂布設備，其中所述中央段(54)在其第二端通過沿橫向于所述狹縫方向(y)和所述平移方向(x)的方向(z)延伸的桿(53C)聯接到所述支架(60)，使得所述第二端能夠沿著橫向于所述桿(53C)的延伸方向的方向平移。

8.根據權利要求3所述的用于在基底(1)上制造帶圖案的涂層(3)的槽模涂布設備，進一步包括剛硬地聯接到所述支架(60)的阻擋構件(62)，所述阻擋構件(62)沿橫向于所述平移方向(x)的方向(z)伸出，同時通過所述中央段(54)中的孔口(544)。