[發(fā)明專利]減小由化學(xué)強(qiáng)化處理導(dǎo)致的玻璃基板的翹曲的方法、化學(xué)強(qiáng)化玻璃及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480046808.1
• 申請日: 2014-06-13
• 公開（公告）號: CN105473525A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鈴木祐一;三浦丈宜;澀谷崇;西田航;世良洋一
• 申請（專利權(quán)）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: C03C21/00
• 分類號: C03C21/00;C03C3/087
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 王海川;穆德駿

1.一種減小玻璃基板的翹曲的方法，其通過在利用浮法成形且具有成形時與熔融金屬接觸的底面和與該底面相對的頂面的玻璃基板的至少頂面上形成至少一層膜，從而減小之后的化學(xué)強(qiáng)化處理所導(dǎo)致的玻璃基板的翹曲，其中，

所述玻璃基板為利用硝酸鉀熔鹽在420℃下進(jìn)行150分鐘化學(xué)強(qiáng)化處理時的壓應(yīng)力層深度為20μm以下的玻璃基板，

所述膜含有至少一種以上包含硅的氧化物及復(fù)合氧化物，且膜厚為17nm以上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述膜的膜密度為1.9g/cm³以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，所述玻璃基板用于化學(xué)強(qiáng)化溫度為T(單位：K)、化學(xué)強(qiáng)化時間為t(單位：小時)的化學(xué)強(qiáng)化處理，且所述玻璃基板含有SiO₂，使用SiO₂、Al₂O₃、MgO、CaO、SrO、BaO、ZrO₂、Na₂O和K₂O各自的以質(zhì)量百分率計(jì)的含量利用下式求出的dol為20以下，

dol＝-0.13×Al₂O₃-1.88×MgO-2.41×CaO-1.85×SrO-1.35×BaO-1.59×ZrO₂+1.50×Na₂O+2.42×K₂O-129359/T+9.28×t^0.5+182.88。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的方法，其中，以氧化物基準(zhǔn)的質(zhì)量百分率計(jì)，所述玻璃基板含有60～80％的SiO₂、0.01～8％的Al₂O₃、8～22％的Na₂O、0～7％的K₂O、0～17％的MgO、0～22％的CaO、0～8％的SrO、0～8％的BaO、0～5％的ZrO₂。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的方法，其中，以氧化物基準(zhǔn)的質(zhì)量百分率計(jì)，所述玻璃基板含有60～80％的SiO₂、0.01～8％的Al₂O₃、8～22％的Na₂O、0～7％的K₂O、0～5％的ZrO₂，在含有MgO、CaO、SrO和BaO中的至少一種的情況下，MgO、CaO、SrO和BaO的含量的合計(jì)為5～25％，Na₂O與K₂O的含量之和與Al₂O₃的含量之比(Na₂O+K₂O)/Al₂O₃為1.5以上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述(Na₂O+K₂O)/Al₂O₃為10以下。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述玻璃基板含有CaO、SrO和BaO中的至少一種，且CaO、SrO和BaO的含量的合計(jì)以氧化物基準(zhǔn)的質(zhì)量百分率計(jì)為1～10％。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述膜為通過常壓CVD法形成的膜。

9.一種化學(xué)強(qiáng)化玻璃的制造方法，其包括如下工序：

成膜工序，對于利用浮法成形、具有成形時與熔融金屬接觸的底面和與該底面相對的頂面、且利用硝酸鉀熔鹽在420℃下進(jìn)行150分鐘化學(xué)強(qiáng)化處理時的壓應(yīng)力層深度為20μm以下的玻璃基板，在該玻璃基板的所述頂面上形成至少一層膜；和

化學(xué)強(qiáng)化工序，對形成有所述膜的所述玻璃基板進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化處理；

其特征在于，

在所述成膜工序中，形成所述膜使得所述膜含有至少一種以上包含硅的氧化物及復(fù)合氧化物且膜厚為17nm以上，由此減小所述化學(xué)強(qiáng)化工序中的所述玻璃基板的翹曲。

10.根據(jù)權(quán)利要求9的化學(xué)強(qiáng)化玻璃所述的制造方法，其中，在所述成膜工序中，形成所述膜使得膜密度為1.9g/cm³以上。