[發(fā)明專利]基板操作設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480046768.0
• 申請日: 2014-08-04
• 公開（公告）號: CN105473763B
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: D.布賴恩
• 申請（專利權(quán)）人: 艾克斯特朗歐洲公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/46;C23C16/52;C30B25/10;C30B29/40;C23C16/30;G05D23/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 侯宇

本發(fā)明涉及一種用于操作基板的設(shè)備和方法，具有具備多個局部加熱裝置的加熱裝置，以及調(diào)節(jié)裝置，調(diào)節(jié)裝置的指令變量是基座溫度(Ts)，基座溫度的調(diào)節(jié)量是通過測溫裝置(10)測量的基座(7)的實際溫度，并且基座溫度的調(diào)整參數(shù)是向加熱裝置供給的總熱功率(P_tot)的值。設(shè)有熱功率分配器(12)，其作為輸入值獲得調(diào)整參數(shù)(P_tot)并且作為輸出值向每個局部加熱裝置(1、2、3、4、5)提供局部熱功率(P₁、P₂、P₃、P₄、P₅)，其中，局部熱功率(P₁、P₂、P₃、P₄、P₅)的數(shù)值之和等于調(diào)整參數(shù)(P_tot)，并且局部熱功率(P₁、P₂、P₃、P₄、P₅)的數(shù)值相互間處于預(yù)設(shè)的固定比例關(guān)系。為了提供緊湊的調(diào)節(jié)回路，具有多個局部加熱裝置的設(shè)備通過該調(diào)節(jié)回路可以與變化的處理參數(shù)相匹配，在此規(guī)定，通過能夠預(yù)選的分配參數(shù)(A、B、C、D)定義預(yù)設(shè)的比例關(guān)系，其中，至少一個分配參數(shù)(A、C)是局部熱功率(P₁、P₂；P₄、P₅)的兩個數(shù)值之商。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于操作或處理基板的設(shè)備，其具有安置在處理室內(nèi)的基座，所述基座具有朝向所述處理室的用于容納至少一個基板的第一側(cè)和與所述第一側(cè)相背離的第二側(cè)，所述第二側(cè)能夠被具有多個局部加熱裝置的加熱裝置加熱，并且所述設(shè)備還具有調(diào)節(jié)裝置，所述調(diào)節(jié)裝置的指令變量是基座溫度，所述基座溫度的調(diào)節(jié)量是通過測溫裝置測量的基座的實際溫度，并且所述基座溫度的調(diào)整參數(shù)是向所述加熱裝置供給的總熱功率P_tot的值。

本發(fā)明還涉及一種用于操作基板的方法，其中，至少一個基板安置在布置于處理室內(nèi)的基座的第一側(cè)上，其中，與所述第一側(cè)相背離的第二側(cè)被具有多個局部加熱裝置的加熱裝置加熱，其中，向所述加熱裝置供給的熱功率通過調(diào)節(jié)裝置被調(diào)節(jié)，所述調(diào)節(jié)裝置的指令變量是基座溫度，所述基座溫度的調(diào)節(jié)量是通過測溫裝置測量的基座的實際溫度，并且所述基座溫度的調(diào)整參數(shù)是熱功率的值。

背景技術(shù)

US 2011/0143016 A1描述了一種具有兩個圍繞基座的輪廓軸線對中布置的局部加熱裝置，它們通過調(diào)節(jié)器被供給熱功率。基座圍繞其中心軸線被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。

US 2011/0259879 A1描述了一種用于操作基板的設(shè)備，其中，在基座的下方設(shè)有多個可電感加熱的局部加熱裝置。

US 6,746,908 B2描述了一種用于控制溫度的設(shè)備，其中，多個局部相鄰布置的并且相互熱力影響的加熱區(qū)域分別被電感地控制。溫度傳感器的數(shù)量多于加熱區(qū)域的數(shù)量。在EP 1 647 868 B1中，多個相互影響的加熱區(qū)域被獨自的加熱元件加熱。每個加熱區(qū)域配屬有溫度測量傳感器。各個加熱裝置相互干擾。干擾因素通過脫耦矩陣的構(gòu)成被補償。

WO 2011/022637 A1描述了一種加熱設(shè)備，其中基座具有燈，加熱設(shè)備通過電阻加熱裝置或電感加熱元件能夠被加熱。基座表面的溫度還按照高溫測量法被測量。

借助無線射頻線圈對基座加熱的設(shè)備還由US 2012/0148760 A1、US 2012/0193765 A1和US 2012/0067870 A1已知。

DE 10 2007 027 704 A1描述了一種前述類型的設(shè)備，其中，基座的多個區(qū)域可以通過獨自的局部加熱裝置被加熱，其中，局部加熱裝置由電阻絲構(gòu)成，電阻絲可以相互不同的接受功率。

DE 10 2012 101 717 A1描述了一種設(shè)備和方法，其中，每個單獨的局部加熱裝置被獨自的調(diào)節(jié)裝置控制。每個調(diào)節(jié)裝置獲得所選擇的溫度傳感器的實際值。