[發明專利]層疊體

有效

• 申請號: 201480046127.5
• 申請日: 2014-08-22
• 公開（公告）號: CN105474099B
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 加持義貴;小山一郎;巖井悠;中村敦
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/095
• 分類號: G03F7/095;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/11
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 蔣亭

1.一種層疊體，其在有機半導體膜的表面至少依次具有水溶性樹脂膜及包含化學增幅型感光性樹脂組合物的抗蝕劑膜，其中，

所述化學增幅型感光性樹脂組合物含有在波長365nm下曝光100mJ/cm²以上時分解80摩爾％以上的光產酸劑，曝光部因難溶于包含有機溶劑的顯影液而能夠形成掩模圖案，且在形成掩模圖案后用作蝕刻的掩模。

2.根據權利要求1所述的層疊體，其中，所述蝕刻為干式蝕刻。

3.根據權利要求1所述的層疊體，其中，所述蝕刻為濕式蝕刻。

4.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述水溶性樹脂膜的水溶性樹脂的sp值為18(MPa)^1/2以上且小于29(MPa)^1/2，所述sp值是指溶解參數。

5.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述水溶性樹脂膜的水溶性樹脂的sp值為20(MPa)^1/2以上且26(MPa)^1/2以下，所述sp值是指溶解參數。

6.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述水溶性樹脂膜的水溶性樹脂為聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、或聚乙烯醇與聚乙烯吡咯烷酮的混合物。

7.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述水溶性樹脂膜的水溶性樹脂為聚乙烯吡咯烷酮。

8.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述化學增幅型感光性樹脂組合物通過在波長365nm下曝光100mJ/cm²以上而其極性發生變化，且對于sp值小于18(MPa)^1/2的有機溶劑變得難溶，所述sp值是指溶解參數。

9.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述化學增幅型感光性樹脂組合物包含具有環狀醚酯結構的樹脂。

10.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述化學增幅型感光性樹脂組合物包含具有重復單元的樹脂，所述重復單元包含由下述通式(11)表示的基團，

式(11)

式(11)中，R¹表示氫原子或烷基，L¹表示羰基或亞苯基，R²¹～R²⁷分別獨立地表示氫原子或烷基。

11.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述化學增幅型感光性樹脂組合物包含具有由下述通式(B¹-1)表示的重復單元的樹脂，

通式(B¹-1)

通式(B¹-1)中，R¹表示氫原子、烷基、氰基或鹵素原子；R²～R⁴分別獨立地表示烷基；R²～R⁴中的2個可鍵結而形成環狀的烷基。

12.根據權利要求1或2所述的層疊體，其中，所述化學增幅型感光性樹脂組合物包含具有由下述通式(B¹-2)表示的重復單元的樹脂，

通式(B¹-2)

通式(B¹-2)中，R¹表示氫原子、烷基、氰基或鹵素原子；R²～R⁴分別獨立地表示烷基；R²～R⁴中的2個可鍵結而形成環狀的烷基；R⁵表示2價的鏈狀烴基。