[發(fā)明專利]紫外線照射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480044686.2
• 申請日: 2014-03-13
• 公開（公告）號(hào): CN105452173B
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林伸次;阿部法光;出健志;城田昭彥;竹內(nèi)賢治
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社東芝
• 主分類號(hào): G01J1/10
• 分類號(hào): G01J1/10;G01J1/02;C02F1/32
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種紫外線照射裝置，具備：

照射部，其向成為處理對象的處理水照射處理用的紫外線；

計(jì)測部，其計(jì)測透射所述處理水后的紫外線的紫外線強(qiáng)度；

檢測部，其根據(jù)通過所述計(jì)測部計(jì)測到的紫外線強(qiáng)度來檢測所述照射部產(chǎn)生了劣化的情況；

計(jì)算部，其根據(jù)與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定值相應(yīng)地從所述照射部照射的紫外線的紫外線強(qiáng)度與通過所述計(jì)測部計(jì)測出的紫外線強(qiáng)度，計(jì)算所述處理水的紫外線透射率；以及

顯示部，其顯示基于所述檢測部的所述照射部的劣化的檢測結(jié)果、以及通過所述計(jì)算部計(jì)算出的所述紫外線透射率，

所述計(jì)測部以與所述照射部分離的方式配置，以使得所述照射部的劣化所導(dǎo)致的所述紫外線透射率的變動(dòng)量在允許誤差以下。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置，其中，

所述檢測部根據(jù)通過所述計(jì)測部計(jì)測出的紫外線強(qiáng)度以及通過所述計(jì)算部計(jì)算出的所述紫外線透射率，檢測所述照射部發(fā)生了劣化的情況。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紫外線照射裝置，其中，

所述計(jì)測部以與所述照射部分離的方式配置，以使得通過該計(jì)測部計(jì)測的紫外線強(qiáng)度降至無法維持應(yīng)對所述處理水的處理性能的規(guī)定值的情況下的、所述紫外線透射率的變動(dòng)量在所述允許誤差以下。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紫外線照射裝置，其中，

所述計(jì)算部根據(jù)通過外部計(jì)測設(shè)備計(jì)測的紫外線相對于所述處理水的透射率，計(jì)算從所述照射部照射的紫外線的實(shí)效照射強(qiáng)度以及通過所述計(jì)測部計(jì)測的實(shí)效透射強(qiáng)度，并且根據(jù)所述實(shí)效照射強(qiáng)度以及所述實(shí)效透射強(qiáng)度計(jì)算所述紫外線透射率。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紫外線照射裝置，其中，

所述計(jì)算部根據(jù)通過外部計(jì)測設(shè)備計(jì)測的紫外線相對于所述處理水的透射率，計(jì)算從所述照射部照射的紫外線的實(shí)效照射強(qiáng)度以及通過所述計(jì)測部計(jì)測的實(shí)效透射強(qiáng)度，并且根據(jù)所述實(shí)效照射強(qiáng)度以及所述實(shí)效透射強(qiáng)度計(jì)算所述紫外線透射率。

6.一種紫外線照射裝置，具備：

照射部，其向成為處理對象的處理水照射處理用的紫外線；

計(jì)測部，其計(jì)測透射所述處理水后的紫外線的紫外線強(qiáng)度；

檢測部，其根據(jù)通過所述計(jì)測部計(jì)測到的紫外線強(qiáng)度來檢測所述照射部產(chǎn)生了劣化的情況；

計(jì)算部，其使用預(yù)先設(shè)定的設(shè)定值、以及通過所述計(jì)測部計(jì)測出的紫外線強(qiáng)度相對于與該設(shè)定值相應(yīng)地從所述照射部照射的紫外線的紫外線強(qiáng)度的比率，根據(jù)下式計(jì)算所述處理水的紫外線透射率；以及

顯示部，其顯示基于所述檢測部的所述照射部的劣化的檢測結(jié)果、以及通過所述計(jì)算部計(jì)算出的所述紫外線透射率，

UVT＝A×ln(B×S/D)；

這里，UVT是所述紫外線透射率，其單位是％/cm，S是通過所述計(jì)測部計(jì)測到的紫外線強(qiáng)度相對于與所述設(shè)定值相應(yīng)地從所述照射部照射的紫外線的紫外線強(qiáng)度的比率，D是表示所述設(shè)定值的比，A以及B是規(guī)定的系數(shù)，A＝8.8588，B＝10000。