[發明專利]波長可變光源有效

申請號：	201480044218.5	申請日：	2014-06-26
公開（公告）號：	CN105453351B	公開（公告）日：	2019-03-29
發明（設計）人：	藁科禎久	申請（專利權）人：	浜松光子學株式會社
主分類號：	H01S5/06	分類號：	H01S5/06;G01J3/08;G01J3/26;G02B26/00;H01S5/183;H01S5/40
代理公司：	北京尚誠知識產權代理有限公司 11322	代理人：	楊琦;黃浩
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
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摘要：
搜索關鍵詞：	反射鏡波長可變光源半反射鏡光共振器激光媒介驅動機構全反射鏡濾光器反射聯動
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【權利要求書】：

1.一種波長可變光源，其特征在于：

具備：

第1激光媒介物，放大具有第1波長帶寬的第1光；

第1全反射鏡以及第1部分反射鏡，構成使所述第1光進行光學共振的第1光共振器；

第2激光媒介物，放大具有第2波長帶寬的第2光；

第2全反射鏡以及第2部分反射鏡，構成使所述第2光進行光學共振的第2光共振器；

第1法布里-珀羅干涉濾光器，具有一對第1反射鏡且被配置于第1位置，并且選擇性地使包含于所述第1光以及所述第2光的特定波長的光透過以及反射并引導至第1部分反射鏡和/或第2部分反射鏡，所述第1位置是所述第1光的第1光路上的所述第1激光媒介物與所述第1部分反射鏡之間并且所述第2光的第2光路上的所述第2激光媒介物與所述第2部分反射鏡之間的位置；

第2法布里-珀羅干涉濾光器，具有一對第2反射鏡且被配置于第2位置，并且選擇性地使所述第1光以及所述第2光透過以及反射，所述第2位置是所述第1光路上的所述第1激光媒介物與所述第1法布里-珀羅干涉濾光器之間并且所述第2光路上的所述第2激光媒介物與所述第1法布里-珀羅干涉濾光器之間的位置；

第1驅動機構，使所述第1法布里-珀羅干涉濾光器的一方的所述第1反射鏡以及所述第2法布里-珀羅干涉濾光器的一方的所述第2反射鏡聯動而動作；以及

第2驅動機構，使所述第2法布里-珀羅干涉濾光器的另一方的所述第2反射鏡動作。

2.如權利要求1所述的波長可變光源，其特征在于：

進一步具備以一對所述第1反射鏡之間的第1間隙以及一對所述第2反射鏡之間的第2間隙周期性地進行變化的形式控制所述第1驅動機構的控制部。

3.如權利要求2所述的波長可變光源，其特征在于：

所述控制部使一方的所述第1反射鏡以及一方的所述第2反射鏡往復動作并將所述往復動作的頻率設定成所述第1驅動機構的諧振頻率。

4.如權利要求2所述的波長可變光源，其特征在于：

所述控制部以所述第2反射鏡的狀態被切換成所述第2間隙與所述第1間隙不同的第1狀態和所述第2間隙與所述第1間隙相等的第2狀態的形式控制所述第2驅動機構。

5.如權利要求3所述的波長可變光源，其特征在于：

6.如權利要求1~5中任意一項所述的波長可變光源，其特征在于：

所述第1法布里-珀羅干涉濾光器、所述第2法布里-珀羅干涉濾光器、所述第1驅動機構以及所述第2驅動機構被形成于相同的半導體基板。