[發(fā)明專利]用于氣相色譜的整合流體系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480040466.2
• 申請日: 2014-05-16
• 公開（公告）號: CN105579842A
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: Y.B.吉安錢達尼;Y.秦
• 申請（專利權(quán)）人: 密執(zhí)安大學評議會
• 主分類號: G01N30/32
• 分類號: G01N30/32;B01L3/00;B81C1/00;G01N30/60;G01N30/88;G01N30/08
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 周李軍;林森

1.一種微制造具有至少三個組件的氣相色譜儀的流體系統(tǒng)的方法，所述方法包括：

用第一掩模在基材上微制造氣相色譜儀的流體系統(tǒng)的一部分；

用第二掩模微制造氣相色譜儀的流體系統(tǒng)的相同或不同部分；和

用第三掩模微制造氣相色譜儀的流體系統(tǒng)的相同或不同部分，其中所述第一掩模、第二掩模和第三掩模彼此不同，且微制造氣相色譜儀的流體系統(tǒng)只用所述第一掩模、第二掩模和第三掩模完成。

2.權(quán)利要求1的方法，所述方法進一步包括：

只用所述第一掩模、第二掩模和第三掩模在基材的單獨部分上微制造氣相色譜儀的三個組件；

將基材切成多個模，各模具有用于三個組件之一的不同子組件布置在各模上；和

堆疊多個模，以形成氣相色譜儀。

3.權(quán)利要求1的方法，其中微制造進一步限定為噴砂、等離子蝕刻、濕蝕刻和超聲機器加工之一。

4.權(quán)利要求3的方法，所述方法進一步包括用第一掩模在基材上沉積金屬，用第二掩模在基材中形成空腔，和用第三掩模在基材中形成通孔。

5.權(quán)利要求4的方法，所述方法進一步包括只用所述第一掩模、第二掩模和第三掩模微制造泵、分離柱、預濃縮器和檢測器。

6.權(quán)利要求4的方法，所述方法進一步包括只用所述第一掩模、第二掩模和第三掩模微制造泵、分離柱、預濃縮器和檢測器至少之一。

7.權(quán)利要求4的方法，所述方法進一步包括在第一基材上沉積金屬，在第二基材上噴砂。

8.權(quán)利要求7的方法，所述方法進一步包括組裝第一基材與第二基材，以形成泵、分離柱、預濃縮器和檢測器至少之一。

9.權(quán)利要求8的方法，所述方法進一步包括單獨組裝泵、分離柱、預濃縮器和檢測器，并在電路板上將組裝組件布置為彼此相鄰。

10.一種氣相色譜儀，所述氣相色譜儀包括：

構(gòu)造成接收載氣的泵；

分離柱，所述分離柱構(gòu)造成從所述泵接收載氣，并可操作用于從所述載氣分離分析物分子；

預濃縮器，所述預濃縮器在所述泵和所述分離柱之間插入并以流體流通方式耦合；和

檢測器，所述檢測器構(gòu)造成從所述分離柱接收載氣，其中泵、分離柱、預濃縮器和檢測器中至少三個通過只用三個不同掩模微制造來制造。

11.權(quán)利要求10的氣相色譜儀，其中所述泵進一步限定為Knudsen泵。

12.權(quán)利要求11的氣相色譜儀，所述氣相色譜儀具有堆疊布置，其中預濃縮器堆疊在Knudsen泵頂上，分離柱堆疊在預濃縮器頂上，檢測器堆疊在分離柱頂上。

13.權(quán)利要求12的氣相色譜儀，其中所述Knudsen泵包括夾在玻璃模之間的至少一個納米多孔膜。

14.權(quán)利要求13的氣相色譜儀，其中所述Knudsen泵以一個方向操作，以將載氣吸入預濃縮器，并以第二方向操作，以將氣體吸出預濃縮器。

15.權(quán)利要求14的氣相色譜儀，所述氣相色譜儀進一步包括整合到模中的作為加熱器的金屬膜。

16.權(quán)利要求15的氣相色譜儀，所述氣相色譜儀進一步包括在Knudsen泵和預濃縮器之間插入的間隔物，和在預濃縮器和分離柱之間插入的間隔物。

17.權(quán)利要求10的氣相色譜儀，其中所述預濃縮器包括載氣通過的室和包埋在所述室中的吸附劑顆粒，其中所述室容納至少兩個類型的吸附劑顆粒。

18.權(quán)利要求10的氣相色譜儀，其中所述分離柱包括載氣通過的通道，且所述通道具有蛇形圖案。

19.權(quán)利要求10的氣相色譜儀，其中所述檢測器進一步限定為脈沖放電檢測器或電容檢測器之一。

20.權(quán)利要求19的氣相色譜儀，其中所述電容檢測器包括載氣通過的通道和在所述通道中暴露的至少一個叉指電容器。